TaC estaldura grafitoa purutasun handiko grafitoko substratu baten gainazala tantalio karburozko geruza fin batekin estaliz sortzen da, Lurrun Kimikoen Deposizio (CVD) prozesu propio baten bidez.
Tantalo karburoa (TaC) tantalioz eta karbonoz osatutako konposatu bat da. Eroankortasun elektriko metalikoa du eta aparteko urtze-puntu altua du, eta bere indarra, gogortasuna eta beroa eta higadura erresistentziagatik ezaguna den zeramikazko material erregogorra da. Tantalo Karburoen urtze-puntuak 3880 °C inguruko gailurra du purutasunaren arabera eta konposatu bitarren artean urtze-puntu handienetako bat du. Horrek alternatiba erakargarria bihurtzen du tenperatura-eskaerek MOCVD eta LPE bezalako prozesu epitaxial konposatuetan erabiltzen diren errendimendu-gaitasunak gainditzen dituztenean.
Semicorex TaC Coating-ren material datuak
Proiektuak |
Parametroak |
Dentsitatea |
14,3 (gm/cm³) |
Emisibotasuna |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Gogortasuna (HK) |
2000 |
Erresistentzia (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Egonkortasun termikoa |
<2500℃ |
Grafitoaren Dimentsio Aldaketa |
-10~-20um (erreferentzia-balioa) |
Estalduraren lodiera |
≥20um balio tipikoa (35um±10um) |
|
|
Aurrekoak balio tipikoak dira |
|
Zirriborroa CVD estalduraren estalkiak errendimendu handiko osagaia da, tantalum karburo estaldura batekin, epitaxia prozesu erdieroaleetan zehaztasun eta iraunkortasunerako diseinatua. Aukeratu Sormorex konponbide fidagarriak eta aurreratuak lortzeko zure produkzioaren eraginkortasuna hobetzen duten eta aplikazio guztietan kalitate gorena ziurtatzeko. *
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicOrex Tac estaldura Half-Moon zatia errendimendu handiko osagaia da, SIC Epitarxy prozesuetan LPE epitaxia labeen barruan erabiltzeko diseinatua. Aukeratu paregabeko kalitatea, doitasun ingeniaritza eta fabrikazio bikaintasuna lortzeko konpromiso bat lortzeko. *
Irakurri gehiagoBidali kontsultaLPErako Semicorex Halfmoon Part for LPE erreaktoreetan erabiltzeko diseinatutako TaC estalitako grafito-osagai bat da, SiC epitaxia prozesuetan zeregin garrantzitsua betetzen duena. Aukeratu Semicorex kalitate handiko osagai iraunkorrengatik, errendimendu eta fidagarritasun ezin hobea bermatzen duten erdieroaleen fabrikazio-ingurune zorrotzetan.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex TaC Plate errendimendu handiko TaC estalitako grafito osagai bat da, SiC epitaxia hazteko prozesuetan erabiltzeko diseinatua. Aukeratu Semicorex zure erdieroaleen ekoizpen-ekipoen errendimendua eta iraupena optimizatzen duten kalitate handiko material fidagarriak fabrikatzen duen esperientziagatik.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex TaC Coated Graphite Part errendimendu handiko osagaia da, SiC kristalen hazkuntza eta epitaxia prozesuetan erabiltzeko diseinatua, egonkortasun termikoa eta erresistentzia kimikoa hobetzen dituen tantalio karburozko estaldura iraunkorra duena. Aukeratu Semicorex gure soluzio berritzaileengatik, produktuen kalitate handiagatik eta erdieroaleen industriaren behar zorrotzei erantzuteko egokitutako osagai fidagarriak eta iraunkorrak eskaintzeko esperientziagatik.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex TaC Coated Graphite Chuck erdieroaleen fabrikazioan obleak zehatz manipulatzeko eta tenperatura altuko prozesuetarako diseinatutako errendimendu handiko osagaia da. Aukeratu Semicorex bere produktu berritzaile eta iraunkorrengatik, erdieroaleen aplikazio zorrotzetan errendimendu eta iraupen ezin hobea bermatzen dutenak.*
Irakurri gehiagoBidali kontsulta