Tantalio Karburo Estalitako Gida Eraztunak

Gida-eraztunak normalean grafitozko arragoaren gainean instalatzen dira eremu termikoko sistemaren barruan. Arragoa, berogailua eta isolamendu termikoko zilindroarekin eta beste osagai erdieroaleekin batera egiten dute lan, beroaren eta prozesuko gasen banaketa gidatu eta kontrolatzeko.

AabantailakT.renantalum Karburo Estaldura

Errendimendu handiagatik ezagunaTaC estaldurahirugarren belaunaldiko erdieroale kristal bakarreko hazkuntza aplikazioetan, tantalio karburoaren estaldurak abantaila hauek eskaintzen ditu:

1. Aparteko egonkortasun termikoa

Tantalo karburoak erresistentzia termiko bikaina du, 3880 ℃-ko urtze-puntu ultra-altua duena. Egonkortasun termiko aparteko hau izanik, Semicorex tantalio karburoa estalitako gida-eraztunak egonkor erabil daitezke tenperatura altuko inguruneetan 2500 ℃-tik behera. Gainera, bi material horien konbinazioak tenperatura aldaketek eragindako estaldura pitzatzeko eta zuritzeko arriskuak gutxitzen ditu, eta horrek nabarmen ahalbidetzen du osagaiaren egitura-osotasuna behin eta berriz berotzeko eta hozteko prozesuetan.

2. Korrosioarekiko erresistentzia nabarmena

Tantalo karburoak korrosioarekiko eta oxidazioarekiko erresistentzia nabarmena du, eta kimikoki inertea da gas erreaktibo gehienekiko, hala nola amoniakoa, hidrogenoa eta silizioa. Egonkortasun kimiko hori dela eta, Semicorex tantalio karburoa estalitako gida-eraztunek eraginkortasunez saihesten dute gas erreaktiboak matrizea higatzea eta haien egitura-osotasuna kaltetzea, eta, aldi berean, kristal-egituran sartzen diren erreaktiboek eta ezpurutasunak kutsatzeko arriskua saihesten dute.

Semicorex tantalio karburo estalitako gida-eraztunen errendimendua

Semicorextantalio karburoa estalitako gida eraztunakerabili purutasun handiko grafitoa matrize gisa eta depositu TaC estaldura gainazalean CVD teknologiaren bidez. Bi material hauen konbinazioari esker, Semicorex tantalio karburoa estalitako gida-eraztunek abantaila hauek eskaintzen dituzte:

1.Gas-fluxuaren orientazioa eta fluxu-eremuaren optimizazioa

Kristalen hazkuntzan zehar, gida-eraztunak erabiltzeak fluxuaren banaketa optimizatzen laguntzen du eremu termikoaren barruan eta gas erreaktiboak fluxu-norabide kontrolagarri batera eta banaketa uniformerantz zuzentzen ditu. Egitura-diseinu bereziari esker, Semicorex tantalio karburoa estalitako gida-eraztunek gasa isurtzeko eta uniformeki banatzeko bidera dezakete, eta horrek modu eraginkorrean saihesten du tokiko gas-kontzentrazio gehiegi edo baxuak.

2.Tenperatura erregulatzea eta eremu termikoa optimizatzea

Semicorex tantalio karburoa estalitako gida-eraztunek eroankortasun termiko handiagoa erakusten dute, tenperatura-banaketa erregulatzen laguntzeko eta kristalen hazkuntzarako tenperatura-eremu egonkorra eskaintzen laguntzeko. Esate baterako, Semicorex tantalio karburoz estalitako gida-eraztunek tenperatura-gradientea mantentzen lagun dezakete siliziozko karburozko kristalen PVT hazkundean, materialak baldintza egokietan deskonposatzen, garraiatzen eta kristalizatzen direla ziurtatuz.