Foku-eraztunak edo ertz-eraztunak oblearen ertzaren edo perimetroaren inguruan grabatzeko uniformetasuna hobetzeko diseinatuta daude.
Semicorex foku-eraztunak lurrun-deposizio kimikoarekin (CVD) estalitako siliziozko karburoak dira, bero-erresistentzia handiagoa eskaintzen dute, baita uniformetasun termikoa ere epi geruzen lodiera eta erresistentzia koherentea lortzeko, eta erresistentzia kimiko iraunkorra, plasma bidezko grabaketa edo grabaketa lehorreko prozesuetan muturreko inguruneak jasateko eraikita daudenak. .
Semicorex SiC Focus Ring purutasun handiko silizio karburozko eraztun osagai bat da, erdieroaleen fabrikazioan plasma banaketa eta obleen prozesu uniformetasuna optimizatzeko diseinatua. Semicorex aukeratzeak kalitate koherentea, materialen ingeniaritza aurreratua eta mundu osoko erdieroale fabrikatzaile nagusiek fidagarriak diren errendimendu fidagarria bermatzea esan nahi du.*
Irakurri gehiagoBidali kontsulta