Foku-eraztunak edo ertz-eraztunak oblearen ertzaren edo perimetroaren inguruan grabatzeko uniformetasuna hobetzeko diseinatuta daude.
Semicorex foku-eraztunak lurrun-deposizio kimikoarekin (CVD) estalitako siliziozko karburoak dira, bero-erresistentzia handiagoa eskaintzen dute, baita uniformetasun termikoa ere epi geruzen lodiera eta erresistentzia koherentea lortzeko, eta erresistentzia kimiko iraunkorra, plasma bidezko grabaketa edo grabaketa lehorreko prozesuetan muturreko inguruneak jasateko eraikita daudenak. .