Fabrikazio profesional gisa, Wafer Heater eskaini nahi dizugu. Deposizio-ekipoetarako berogailuek oblean zehar banaketa termiko uniformea eskatzen dute, garbitasun eta plasma-erresistentzia handiarekin batera. Semicorex-ek CVD silizio-karburozko estalitako berokuntza-aplikazioak hornitzen ditu, berogailuak eta arragoa barne, gure berogailu-osagai aurreratuak egokiak dira hutsean deposizio-ingurunerako ALD-CVD-PVD prozesuetarako.