Txina Dutxa Burua Fabrikatzaileak, hornitzaileak, fabrika

SiC (siliziozko karburoa) dutxa-burua hainbat prozesu industrialetan erabiltzen den osagai espezializatua da, batez ere erdieroaleen fabrikazio-industrian. Prozesuko gasak modu uniformean eta zehatzean banatzeko eta emateko diseinatuta dago lurrun-deposizio kimikoetan (CVD) eta hazkuntza epitaxialeko prozesuetan.

Dutxa-buruak disko edo plaka baten itxura du bere gainazalean uniformeki banatutako zulo edo toberak dituena. Zulo hauek prozesuko gasen irteera gisa balio dute, prozesu-ganberan edo erreakzio-ganberan injektatzeko aukera ematen baitute. Zuloen tamaina, forma eta banaketa alda daitezke aplikazio zehatzen eta prozesuen eskakizunen arabera.

SiC dutxa-burua erabiltzearen abantail nagusietako bat eroankortasun termiko bikaina da. Propietate honek bero transferentzia eraginkorra eta tenperatura uniformea ​​banatzea ahalbidetzen du dutxako gainazalean, puntu beroak saihestuz eta prozesuko baldintza koherenteak bermatuz. Eroankortasun termiko hobetuak dutxako burua azkar hozteko aukera ere ematen du prozesuaren ondoren, geldialdi-denbora gutxituz eta produktibitate orokorra handituz.

SiC dutxa-buruak oso iraunkorrak dira eta higadurari erresistenteak dira, baita gas korrosiboen eta tenperatura altuen esposizio luzean ere. Luzetasun hori mantentze-tarte luzatzen eta ekipoen geldialdi-denbora murrizten da, kostuak aurrezten eta prozesuen fidagarritasuna hobetzen du.

Bere sendotasunaz gain, SiC dutxa-buruek gasa banatzeko gaitasun bikainak eskaintzen dituzte. Zehazki diseinatutako zuloen ereduek eta konfigurazioek gas-fluxua eta banaketa uniformea ​​bermatzen dute substratuaren gainazalean, filmaren jalkitze koherentea eta gailuaren errendimendu hobetua sustatuz. Gasaren banaketa uniformeak filmaren lodieraren, konposizioaren eta beste parametro kritikoen aldakuntzak minimizatzen laguntzen du, prozesuaren kontrola eta etekina hobetzen lagunduz.

Semicorex-ek erresistentzia baxuko silizio karburozko erdieroaleen dutxa buru bat eskaintzen du.  Zeramikazko material aurreratuak pertsonalizatzeko eta hornitzeko gaitasuna dugu gaitasun bereziak erabiliz.