Semicorex RTP eramailea silizio-karburoa estalita da lurrun-deposizio kimikoaren (CVD) prozesua erabiliz, benetan egonkorra da RTA, RTP edo garbiketa kimiko gogorra egiteko. Prozesu erdieroalearen muinean, epitaxia suszeptoreak, deposizio-ingurunea jasaten dira lehenik, beraz, bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia du. SiC estalitako eramaileak eroankortasun termiko handia eta beroa banatzeko propietate bikainak ditu.
● Garbitasun handiko SiC estalitako grafitoa
● Beroarekiko erresistentzia eta erresistentzia kimiko handiagoa
● Uniformetasun termiko handia
● Higadura erresistentzia bikaina