Semicorex-en RTP Graphite Carrier Plate irtenbide ezin hobea da erdieroaleen obleak prozesatzeko aplikazioetarako, hazkunde epitaxiala eta obleak manipulatzeko prozesatzeko barne. Gure produktua bero-erresistentzia eta uniformetasun termiko handiagoa eskaintzeko diseinatuta dago, epitaxia suszeptoreak jalkitze-ingurunea jasaten dutela bermatuz, bero eta korrosioarekiko erresistentzia handiarekin.
Gure produktuak purutasun handiko SiC estalitako grafitoa du, beroa banatzeko propietate bikainak eskaintzen dituena, SiC estalitako eramaileak gainazal leuna duela, pitzadurarik eta delaminaziorik gabekoa. Gure RTP Graphite Carrier Plate siliziozko karburo fin-fin estalita dago, gainazala leuna eta akatsik gabea dela bermatuz. Produktu hau oso iraunkorra da garbiketa kimiko gogorren aurka eta pitzadurak eta delaminazioa ez gertatzeko diseinatuta dago.
Gure lehiakideek parekatu ezin duten prezio-abantaila eskaintzen dugu eta Txinan zure epe luzerako bazkide izateko konpromisoa hartzen dugu.
Gure RTP grafitozko plaka eramailearekin, errendimendu bikaina, beroarekiko erresistentzia handiagoa eta uniformetasun termikoa ziurta ditzakezu. SiC estalitako eramailea tenperatura altuak jasateko diseinatuta dago eta garbiketa kimikoarekiko erresistentzia handia du, urte asko irauten duela bermatuz. Gure produktua erabiltzeko erraza izateko diseinatuta dago, erabiltzaile berrientzat zein esperientziadunentzat aproposa da.
Semicorex-en gure bezeroei kalitate handiko produktuak eta zerbitzuak eskaintzeko konpromisoa hartzen dugu. Material onenak bakarrik erabiltzen ditugu, eta gure produktuak kalitate eta errendimendu estandar gorenak betetzeko diseinatuta daude. Gure RTP Graphite Carrier Plate ez da salbuespena. Jar zaitez gurekin harremanetan gaur zure erdieroaleen obleak prozesatzeko beharrekin nola lagun zaitzakegun jakiteko.
RTP Graphite Carrier Platearen parametroak
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristalezko Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
RTP Graphite Carrier Platearen ezaugarriak
Garbitasun handiko SiC estalitako grafitoa
Beroarekiko erresistentzia eta uniformetasun termiko handiagoa
SiC kristal finak estalitako gainazal leun baterako
Iraunkortasun handia garbiketa kimikoen aurka
Materiala pitzadurak eta delaminazioa gerta ez dadin diseinatuta dago.