MOCVDrako SiC Grafito RTP Eramaile Plaka

Semicorex SiC Graphite RTP Carrier Plate-rako MOCVDrako bero-erresistentzia eta uniformetasun termiko handiagoa eskaintzen du, erdieroaleen obleak prozesatzeko aplikazioetarako soluzio ezin hobea da. Kalitate handiko SiC estalitako grafito batekin, produktu hau epitaxial hazkunderako deposizio-ingurune gogorrenari aurre egiteko diseinatuta dago. Eroankortasun termiko altuak eta beroa banatzeko propietate bikainak RTA, RTP edo garbiketa kimiko gogorraren errendimendu fidagarria bermatzen dute.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

Gure SiC Graphite RTP Carrier Plate MOCVD-rako MOCVD Epitaxial Growth irtenbide ezin hobea da obleak manipulatzeko eta epitaxia-hazkuntza prozesatzeko. Gainazal leuna eta garbiketa kimikoen aurkako iraunkortasun handikoa, produktu honek errendimendu fidagarria bermatzen du deposizio-ingurune gogorretan.
MOCVDrako SiC grafito RTP plakaren materiala pitzadurak eta delaminazioa saihesteko diseinatuta dago, eta beroarekiko erresistentzia eta uniformetasun termikoak RTA, RTP edo garbiketa kimiko gogorraren errendimendu koherentea bermatzen du.
Jar zaitez gurekin harremanetan gaur MOCVDrako SiC Graphite RTP Carrier Plate-ri buruz gehiago jakiteko.

MOCVDrako SiC Graphite RTP Carrier Plate-ren parametroak

CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak
SiC-CVD propietateak
Kristal Egitura	FCC β fasea
Dentsitatea	g/cm³	3.21
Gogortasuna	Vickers gogortasuna	2500
alearen tamaina	μm	2~10
Garbitasun kimikoa	%	99.99995
Bero Ahalmena	J kg-1 K-1	640
Sublimazio-tenperatura	℃	2700
Indar felesural	MPa (RT 4 puntu)	415
Gazteen Modulua	Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃)	430
Hedapen termikoa (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Eroankortasun termikoa	(W/mK)	300

MOCVDrako SiC Graphite RTP Carrier Plate-ren ezaugarriak

Garbitasun handiko SiC estalitako grafitoa
Beroarekiko erresistentzia eta uniformetasun termiko handiagoa
SiC kristal finak estalitako gainazal leun baterako
Iraunkortasun handia garbiketa kimikoen aurka
Materiala pitzadurak eta delaminazioa gerta ez dadin diseinatuta dago.