Semicorex RTP SiC Coating Carrier-ek bero-erresistentzia eta uniformetasun termikoa eskaintzen ditu, erdieroaleen obleak prozesatzeko aplikazioetarako soluzio ezin hobea da. Kalitate handiko SiC estalitako grafitoarekin, produktu hau epitaxial hazkunderako deposizio-ingurune gogorrenari aurre egiteko diseinatuta dago. Eroankortasun termiko altuak eta beroa banatzeko propietate bikainak RTA, RTP edo garbiketa kimiko gogorraren errendimendu fidagarria bermatzen dute.
Gure RTP SiC estaldura eramailea deposizio-inguruneko baldintza gogorrenei aurre egiteko diseinatuta dago. Bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia dutenez, epitaxia suszeptoreak deposizio-ingurune ezin hobean jasaten dira hazkuntza epitaxialerako. Eramailearen SiC kristalezko estaldura finak gainazal leuna eta iraunkortasun handia bermatzen ditu garbiketa kimikoen aurka, materiala pitzadurak eta delaminazioa saihesteko diseinatuta dagoen bitartean.
Semicorex-en, kalitate handiko eta kostu-eraginkorra den RTP SiC estaldura-eramailea eskaintzera bideratzen gara, bezeroaren gogobetetasuna lehenesten dugu eta irtenbide errentagarriak eskaintzen ditugu. Zure epe luzerako bazkide izatea espero dugu, kalitate handiko produktuak eta bezeroarentzako arreta bikaina eskainiz.
Jar zaitez gurekin harremanetan gaur gure RTP SiC estaldura-eramaileari buruz gehiago jakiteko.
RTP SiC Coating Carrier-en parametroak
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristal Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
RTP SiC Coating Carrier-en ezaugarriak
Garbitasun handiko SiC estalitako grafitoa
Beroarekiko erresistentzia eta uniformetasun termiko handiagoa
SiC kristal finak estalitako gainazal leun baterako
Iraunkortasun handia garbiketa kimikoen aurka
Materiala pitzadurak eta delaminazioa gerta ez dadin diseinatuta dago.