RTP Eramailea MOCVD Epitaxial Hazkunderako

Semicorex RTP Carrier for MOCVD Epitaxial Growth aproposa da erdieroaleen obleak prozesatzeko aplikazioetarako, hazkunde epitaxiala eta obleak manipulatzeko prozesatzeko barne. Karbono grafitoaren susceptorak eta kuartzozko arragoa MOCVD-k prozesatzen ditu grafito, zeramika eta abar gainazalean. Gure produktuek prezio abantaila ona dute eta Europako eta Amerikako merkatu asko estaltzen dituzte. Zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu Txinan.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

Semicorex-ek oblei eusteko erabiltzen den MOCVD Epitaxial Growth-rako RTP Carrier hornitzen du, benetan egonkorra da RTA, RTP edo garbiketa kimiko gogorrak egiteko. Prozesuaren oinarrian, epitaxia suszeptoreak, deposizio-ingurunearen mende jartzen dira lehenik, beraz, bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia du. SiC estalitako eramaileak eroankortasun termiko handia eta beroa banatzeko propietate bikainak ditu.
Gure RTP Carrier MOCVD Epitaxial Growth egiteko diseinatuta dago gas-fluxu laminarraren eredu onena lortzeko, profil termikoaren berdintasuna bermatuz. Horrek kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihesten laguntzen du, obleen txiparen kalitate handiko hazkunde epitaxiala bermatuz.
Jar zaitez gurekin harremanetan gaur MOCVD Epitaxial Growth-rako gure RTP Eramaileari buruz gehiago jakiteko.

RTP Eramailearen parametroak MOCVD Epitaxial Growthrako

CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak
SiC-CVD propietateak
Kristal Egitura	FCC β fasea
Dentsitatea	g/cm³	3.21
Gogortasuna	Vickers gogortasuna	2500
alearen tamaina	μm	2~10
Garbitasun kimikoa	%	99.99995
Bero Ahalmena	J kg-1 K-1	640
Sublimazio-tenperatura	℃	2700
Indar felesural	MPa (RT 4 puntu)	415
Gazteen Modulua	Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃)	430
Hedapen termikoa (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Eroankortasun termikoa	(W/mK)	300

RTP Eramailearen ezaugarriak MOCVD Epitaxial Hazkunderako

Garbitasun handiko SiC estalitako grafitoa
Beroarekiko erresistentzia eta uniformetasun termiko handiagoa
SiC kristal finak estalitako gainazal leun baterako
Iraunkortasun handia garbiketa kimikoen aurka
Materiala pitzadurak eta delaminazioa gerta ez dadin diseinatuta dago.