Semicorex zure bikotea da erdieroaleen prozesamenduan hobetzeko. Gure siliziozko karburozko estaldura trinkoak, tenperatura altuak eta kimikoekiko erresistenteak dira, erdieroaleen fabrikazio ziklo osoan erabili ohi direnak, erdieroaleen obleak eta obleak prozesatzeko eta erdieroaleen fabrikazioa barne.
Garbitasun handiko SiC zeramikazko osagaiak funtsezkoak dira erdieroaleko prozesuetan. Gure eskaintza obleak prozesatzeko ekipoetarako kontsumigarrien piezak dira, hala nola, siliziozko karburoko obleak, palan cantilever, hodiak, etab. Epitaxirako edo MOCVDrako.
Prozesu erdieroaleetarako abantailak
Film meheen deposizio-faseek, esate baterako, epitaxia edo MOCVD, edo obleen manipulazio-prozesamenduak, esaterako, grabatua edo ioi-inplantea, tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan behar dituzte. Semicorex-ek purutasun handiko silizio karburoa (SiC) eraikuntzak beroarekiko erresistentzia handiagoa eta erresistentzia kimiko iraunkorra eskaintzen ditu, baita uniformetasun termikoa ere epi geruzaren lodiera eta erresistentzia koherentea izateko.
Ganberaren estalkiak →
Kristalen hazkuntzan eta obleak manipulatzeko prozesatzeko erabiltzen diren ganberen estalkiek tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan behar dituzte.
Cantilever Pala →
Cantilever Paddle erdieroaleen fabrikazio prozesuetan erabiltzen den osagai erabakigarria da, batez ere difusio edo LPCVD labeetan difusioa eta RTP bezalako prozesuetan.
Prozesu-hodia →
Prozesuaren hodia osagai erabakigarria da, erdieroaleen prozesatzeko hainbat aplikaziotan bereziki diseinatua, hala nola RTP, difusioa.
Ostia ontziak →
Wafer Boat erdieroaleen prozesamenduan erabiltzen da, ostia delikatuak produkzio fase kritikoetan seguru mantentzen direla ziurtatzeko.
Sarrerako eraztunak →
MOCVD ekipamenduak SiC estalitako gasaren sarrerako eraztunak Hazkunde konposatuak bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia du, eta egonkortasun handia du muturreko ingurunean.
Foku eraztuna →
Semicorex-ek siliziozko karburo estalitako foku-eraztuna hornitzen du oso egonkorra da RTA, RTP edo garbiketa kimiko gogorra egiteko.
Ostia Chuck →
Semicorex-eko zeramikazko hutseko obleen zorroak garbitasun handiko SiC estalitako obleak manipulatzeko prozesuan erabiltzen dira.
Semicorex-ek zeramikazko produktuak ere baditu Alumina (Al2O3), Silizio Nitruroa (Si3N4), Aluminio Nitruroa (AIN), Zirkonia (ZrO2), Zeramika Konposatua, etab.
SiC zeramikazko zigilu eraztuna bere errendimendu sendoa eta iraunkortasunagatik ezaguna da. Semicorex-ek kalitate handiko SiC zeramikazko zigilu eraztunak eskaintzen ditu, industria modernoaren eskakizun zorrotzak betetzen dituztenak. Eraztun hauek ezinbestekoak bihurtu dira zigilu mekanikoen eraginkortasuna eta fidagarritasuna hobetzeko.**
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC Furnace Tube erdieroaleen fabrikatzaileentzako ezinbesteko aktiboa da difusio-prozesuak hobetu nahi dituztenentzat. Materialen propietate paregabeekin, doitasun-diseinuarekin eta erabiltzeko erraztasunarekin, gure SiC Labe-hodiak etekina eta produktuaren kalitatea hobetzeko irtenbide aproposa da. Fidatu Semicorex-ek erritmo bizkorreko erdieroaleen panoraman bikain izateko behar dituzun punta-puntako irtenbideak eskaintzeko.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex-eko SiC Plate ezinbesteko tresna da LED industriako edozein fabrikatzailerentzat, bere ICP grabaketa-prozesuak optimizatu nahi dituenarentzat. Bere materialaren propietate apartak, doitasun ingeniaritza eta integrazio errazarekin, gure SiC plaka aukera ezin hobea da eraginkortasuna eta produktuaren kalitatea hobetzeko. Fidatu Semicorex-ek erdieroaleen industrian abangoardian egoteko behar dituzun soluzioak emateko.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex-en AlN Heater siliziozko obleak babesteko eta berotzeko diseinatuta dago. Apurtasun handiko aluminio nitruroz (AlN) eginda, berogailu honek doitasun handiko hainbat aplikazioren beharrei erantzuten dien ezaugarri aurreratu ugari eskaintzen ditu, batez ere erdieroaleen industrian.**
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex-en AIN Substrate-k kudeaketa termiko eta isolamendu elektriko handian nabarmentzen du, purutasun handiko AlN zeramikaz landutako soluzio sendoa eskainiz. Zeramikazko material zuri hau ezaugarri osoengatik goraipatzen da.**
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex-ek harro aurkezten du Al2O3 Substrate, purutasun handiko aluminio oxidoz (alumina) landutako material polifazetikoa eta errendimendu handikoa. Zeramikazko substratu aurreratu hau bere propietate apartekoengatik goraipatzen da, eta goi-teknologiako hainbat industriatan oinarria da, besteak beste, elektronika, optoelektronika eta oxido solidoko erregai-pilak.**
Irakurri gehiagoBidali kontsulta