Semicorex zure bikotea da erdieroaleen prozesamenduan hobetzeko. Gure siliziozko karburozko estaldura trinkoak, tenperatura altuak eta kimikoekiko erresistenteak dira, erdieroaleen fabrikazio ziklo osoan erabili ohi direnak, erdieroaleen obleak eta obleak prozesatzeko eta erdieroaleen fabrikazioa barne.
Garbitasun handiko SiC zeramikazko osagaiak funtsezkoak dira erdieroaleko prozesuetan. Gure eskaintza obleak prozesatzeko ekipoetarako kontsumigarrien piezak dira, hala nola, siliziozko karburoko obleak, palan cantilever, hodiak, etab. Epitaxirako edo MOCVDrako.
Prozesu erdieroaleetarako abantailak
Film meheen deposizio-faseek, esate baterako, epitaxia edo MOCVD, edo obleen manipulazio-prozesamenduak, esaterako, grabatua edo ioi-inplantea, tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan behar dituzte. Semicorex-ek purutasun handiko silizio karburoa (SiC) eraikuntzak beroarekiko erresistentzia handiagoa eta erresistentzia kimiko iraunkorra eskaintzen ditu, baita uniformetasun termikoa ere epi geruzaren lodiera eta erresistentzia koherentea izateko.
Ganberaren estalkiak →
Kristalen hazkuntzan eta obleak manipulatzeko prozesatzeko erabiltzen diren ganberen tapaek tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan behar dituzte.
Cantilever Pala →
Cantilever Paddle erdieroaleen fabrikazio prozesuetan erabiltzen den osagai erabakigarria da, batez ere difusio edo LPCVD labeetan difusioa eta RTP bezalako prozesuetan.
Prozesu-hodia →
Prozesuaren hodia osagai erabakigarria da, erdieroaleen prozesatzeko hainbat aplikaziotan bereziki diseinatua, hala nola RTP, difusioa.
Ostia ontziak →
Wafer Boat erdieroaleen prozesamenduan erabiltzen da, arreta handiz diseinatu da ostia delikatuak ekoizpenaren fase kritikoetan seguru mantentzen direla ziurtatzeko.
Sarrerako eraztunak →
MOCVD ekipamenduak SiC estalitako gasaren sarrerako eraztunak Hazkunde konposatuak bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia du, eta egonkortasun handia du muturreko ingurunean.
Foku eraztuna →
Semicorex-ek siliziozko karburo estalitako foku-eraztuna hornitzen du oso egonkorra da RTA, RTP edo garbiketa kimiko gogorra egiteko.
Ostia Chuck →
Semicorex-eko zeramikazko hutseko obleen zorroak purutasun handiko SiC estalitako obleak manipulatzeko prozesuan erabiltzen dira.
Semicorex-ek zeramikazko produktuak ere baditu Alumina (Al2O3), Silizio Nitruroa (Si3N4), Aluminio Nitruroa (AIN), Zirkonia (ZrO2), Zeramika Konposatua, etab.
SIC Oxidazio hodia SicoRex hodia errendimendu handiko osagaia da SIC hodi labeetan erabilitako prozesamendu termiko aurreratuarentzat. Epe luzerako egonkortasunerako diseinatuta dago muturreko baldintzetan. Aukeratu semicoRex gure material garbitasunerako, dimentsio estuko kontrolerako eta produktuaren kalitate koherentearentzat, tenperatura altuko korrika guztietan emaitza optimoak lortzen lagunduko dizu. *
Irakurri gehiagoBidali kontsultaAlumina erdi-alumina muntatzeko oinarri-plakak errendimendu handiko zeramikazko osagaiak dira, erdieroaleen fabrikazioan manipulazio zehatza egiteko diseinatua. Bere indarra, isolamendua eta egonkortasun termikoa aproposa da garbitzeko automatizazio inguruneak eskatzen. *
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSilikonazko karburoa hutsean hutsean, silizio karburu porotsutik sortutako errendimendu handiko wafer manipulazioa da. Zehazki ingeniaritzako ingeniaritza da, esaterako, muntatu (argizaria), argizaria, argizaria, xurgatzea eta azkarra (RTA). Aukeratu erdibideko material garbitasuna, dimentsio zehaztasuna eta errendimendu fidagarria erdieroale inguruneak eskatzeko. *
Irakurri gehiagoBidali kontsultaAlumina semicorex robot besoa errendimendu handiko zeramikazko osagaia da, erdieroaleen fabrikazioan maneiatzeko modu zehatza egiteko diseinatua. Bere indarra, isolamendua eta egonkortasun termikoa aproposa da garbitzeko automatizazio inguruneak eskatzen. *
Irakurri gehiagoBidali kontsultaZelaiaren zeramikazko amaiera Eraginkorra zehaztasunez diseinatutako osagaia da, bereziki fidagarria eta kutsadurarik gabeko obraziorako diseinatutakoa, erdieroaleen fabrikazioan eta erlazionatutako aplikazioetan. *
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSIC Chuck erdikorxoa errendimendu handiko zeramikazko hutsezko chuck da, erdieroaleen prozesuan adsortzio segurua eta uniformea izateko diseinatua. Ingeniaritzako egitura mikrosorosoak hutsezko banaketa bikaina bermatzen du, zehaztasunerako aplikazioetarako aproposa bihurtuz. *
Irakurri gehiagoBidali kontsulta