Semicorex zure bikotea da erdieroaleen prozesamenduan hobetzeko. Gure siliziozko karburozko estaldura trinkoak, tenperatura altuak eta kimikoekiko erresistenteak dira, erdieroaleen fabrikazio ziklo osoan erabili ohi direnak, erdieroaleen obleak eta obleak prozesatzeko eta erdieroaleen fabrikazioa barne.
Garbitasun handiko SiC zeramikazko osagaiak funtsezkoak dira erdieroaleko prozesuetan. Gure eskaintza obleak prozesatzeko ekipoetarako kontsumigarrien piezak dira, hala nola, siliziozko karburoko obleak, palan cantilever, hodiak, etab. Epitaxirako edo MOCVDrako.
Prozesu erdieroaleetarako abantailak
Film meheen deposizio-faseek, esate baterako, epitaxia edo MOCVD, edo obleen manipulazio-prozesamenduak, esaterako, grabatua edo ioi-inplantea, tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan behar dituzte. Semicorex-ek purutasun handiko silizio karburoa (SiC) eraikuntzak beroarekiko erresistentzia handiagoa eta erresistentzia kimiko iraunkorra eskaintzen ditu, baita uniformetasun termikoa ere epi geruzaren lodiera eta erresistentzia koherentea izateko.
Ganberaren estalkiak →
Kristalen hazkuntzan eta obleak manipulatzeko prozesatzeko erabiltzen diren ganberen tapaek tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan behar dituzte.
Cantilever Pala →
Cantilever Paddle erdieroaleen fabrikazio prozesuetan erabiltzen den osagai erabakigarria da, batez ere difusio edo LPCVD labeetan difusioa eta RTP bezalako prozesuetan.
Prozesu-hodia →
Prozesuaren hodia osagai erabakigarria da, erdieroaleen prozesatzeko hainbat aplikaziotan bereziki diseinatua, hala nola RTP, difusioa.
Ostia ontziak →
Wafer Boat erdieroaleen prozesamenduan erabiltzen da, arreta handiz diseinatu da ostia delikatuak ekoizpenaren fase kritikoetan seguru mantentzen direla ziurtatzeko.
Sarrerako eraztunak →
MOCVD ekipamenduak SiC estalitako gasaren sarrerako eraztunak Hazkunde konposatuak bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia du, eta egonkortasun handia du muturreko ingurunean.
Foku eraztuna →
Semicorex-ek siliziozko karburo estalitako foku-eraztuna hornitzen du oso egonkorra da RTA, RTP edo garbiketa kimiko gogorra egiteko.
Ostia Chuck →
Semicorex-eko zeramikazko hutseko obleen zorroak purutasun handiko SiC estalitako obleak manipulatzeko prozesuan erabiltzen dira.
Semicorex-ek zeramikazko produktuak ere baditu Alumina (Al2O3), Silizio Nitruroa (Si3N4), Aluminio Nitruroa (AIN), Zirkonia (ZrO2), Zeramika Konposatua, etab.
Semicorex SiC estalitako gasa desbideratzeko diskoak erdieroaleen epitaxial ekipoetan aplikatzen diren grafitozko osagai ezinbestekoak dira, erreakzio gas-fluxua erregulatzeko eta erreakzio-ganberan gasaren banaketa uniformea sustatzeko bereziki diseinatuak. Aukeratu Semicorex, aukeratu gasa desbideratzeko soluzio optimoak kalitate handiko obleen emaitza epitaxialetarako.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC Wafer Carrier purutasun handiko Silizio Karburoko zeramikaz egina dago, 3D inprimaketa teknologiaren bidez, eta horrek esan nahi du prezio handiko mekanizazio osagaiak lor ditzakeela denbora laburrean. Semicorex-ek kalitate handiko produktu kualifikatuak eskaintzen dizkie mundu osoko bezeroei.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex CVD SiC estalitako goiko lurreko eraztunak plasma grabatzeko ekipo sofistikatuetarako bereziki diseinatutako eraztun formako funtsezko osagaiak dira. Semicorex osagai erdieroaleen industriako hornitzaile nagusia den heinean, CVD SiC estalitako goiko lurreko eraztunak kalitate handiko, iraupen luzeko eta ultra-garbiak eskaintzera bideratzen da gure bezero estimatuak eraginkortasun operatiboa eta produktuaren kalitate orokorra hobetzen laguntzeko.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC Seals errendimendu handiko aurpegi mekanikoko osagaiak dira, higadura-erresistentzia, egonkortasun termikoa eta inertetasun kimiko unibertsala eskaintzeko diseinatutako ekipo birakarien ingurune zorrotzenetan. Semicorex SiC zeramikazko material hornitzaile profesionala da, eta doitasun handiko produktuak horni ditzake bezero globalei.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC Pedestal doitasun handiko eta funtzio anitzeko hardware osagai bat da, mikrokanal erreakzio sistema aurreratuetarako beharrezkoa den egonkortasun termikoa eta fluidoen banaketa korapilatsua eskaintzeko diseinatua. Semicorex purutasun handiko SiC idulki hauen ingeniaritza eta hornikuntzan espezializatuta dago bezeroen beharren arabera.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex alumina obleak leuntzeko plakak alumina zeramikaz egindako errendimendu handiko leuntzeko osagaiak dira, goi mailako erdieroaleen industrian obleak leuntzeko prozesurako bereziki diseinatuta daudenak. Semicorex aukeratuz, aukeratu prezio errentagarriekin, iraunkortasun apartarekin eta prozesatzeko errendimendu oso eraginkorra duten produktuak.
Irakurri gehiagoBidali kontsulta