Semicorex zure bikotea da erdieroaleen prozesamenduan hobetzeko. Gure siliziozko karburozko estaldura trinkoak, tenperatura altuak eta kimikoekiko erresistenteak dira, erdieroaleen fabrikazio ziklo osoan erabili ohi direnak, erdieroaleen obleak eta obleak prozesatzeko eta erdieroaleen fabrikazioa barne.
Garbitasun handiko SiC zeramikazko osagaiak funtsezkoak dira erdieroaleko prozesuetan. Gure eskaintza obleak prozesatzeko ekipoetarako kontsumigarrien piezak dira, hala nola, siliziozko karburoko obleak, palan cantilever, hodiak, etab. Epitaxirako edo MOCVDrako.
Prozesu erdieroaleetarako abantailak
Film meheen deposizio-faseek, esate baterako, epitaxia edo MOCVD, edo obleen manipulazio-prozesamenduak, esaterako, grabatua edo ioi-inplantea, tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan behar dituzte. Semicorex-ek purutasun handiko silizio karburoa (SiC) eraikuntzak beroarekiko erresistentzia handiagoa eta erresistentzia kimiko iraunkorra eskaintzen ditu, baita uniformetasun termikoa ere epi geruzaren lodiera eta erresistentzia koherentea izateko.
Ganberaren estalkiak →
Kristalen hazkuntzan eta obleak manipulatzeko prozesatzeko erabiltzen diren ganberen estalkiek tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan behar dituzte.
Cantilever Pala →
Cantilever Paddle erdieroaleen fabrikazio prozesuetan erabiltzen den osagai erabakigarria da, batez ere difusio edo LPCVD labeetan difusioa eta RTP bezalako prozesuetan.
Prozesu-hodia →
Prozesuaren hodia osagai erabakigarria da, erdieroaleen prozesatzeko hainbat aplikaziotan bereziki diseinatua, hala nola RTP, difusioa.
Ostia ontziak →
Wafer Boat erdieroaleen prozesamenduan erabiltzen da, ostia delikatuak produkzio fase kritikoetan seguru mantentzen direla ziurtatzeko.
Sarrerako eraztunak →
MOCVD ekipamenduak SiC estalitako gasaren sarrerako eraztunak Hazkunde konposatuak bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia du, eta egonkortasun handia du muturreko ingurunean.
Foku eraztuna →
Semicorex-ek siliziozko karburo estalitako foku-eraztuna hornitzen du oso egonkorra da RTA, RTP edo garbiketa kimiko gogorra egiteko.
Ostia Chuck →
Semicorex-eko zeramikazko hutseko obleen zorroak garbitasun handiko SiC estalitako obleak manipulatzeko prozesuan erabiltzen dira.
Semicorex-ek zeramikazko produktuak ere baditu Alumina (Al2O3), Silizio Nitruroa (Si3N4), Aluminio Nitruroa (AIN), Zirkonia (ZrO2), Zeramika Konposatua, etab.
Semicorex SiC Wafer Boats erdieroaleen fabrikaziorako arreta handiz diseinatutako osagai aurreratuak dira, bereziki difusio eta prozesu termikoetan. Kalitate goreneko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko gure konpromiso irmoarekin, prest gaude Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzeko.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Wafer Boat erdieroaleen fabrikazio-prozesuan osagai kritikoa da, difusio-prozesuan erabiltzeko bereziki diseinatua, non ezinbestekoa baita oso integratutako zirkuituen sorkuntzan. Kalitate goreneko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko gure konpromiso irmoarekin, prest gaude Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzeko.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Ceramic Electrostatic Chuck (ESC) erdieroaleen fabrikazioaren eskakizun zorrotzei erantzuteko zorrotz landutako tresna espezializatua da. Kalitate goreneko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko gure konpromiso irmoarekin, prest gaude Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzeko.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Electrostatic Chuck (ESC) erdieroaleen fabrikazioan erabiltzen den osagai aurreratu bat da, prozesatzeko hainbat fasetan erdieroaleen obleak modu seguruan eusteko diseinatua. Kalitate goreneko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko dugun konpromisoarekin, epe luzerako zure bazkide izateko prest gaude Txinan.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Silizio Karburoko Oblea Chuck erdieroaleen prozesu epitaxialaren funtsezko osagaia da. Hutseko portagailu gisa balio du obleak segurtasunez eusteko fabrikazio fase kritikoetan. Kalitate goreneko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu dugu, Txinan zure epe luzerako bazkide izateko kokatuz.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC Ceramic Chuck erdieroaleen prozesu epitaxialetan erabiltzeko diseinatutako osagai oso espezializatua da, non hutseko chuck gisa duen zeregina funtsezkoa den. Kalitate goreneko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko dugun konpromisoarekin, epe luzerako zure bazkide izateko prest gaude Txinan.*
Irakurri gehiagoBidali kontsulta