Semicorex zure bikotea da erdieroaleen prozesamenduan hobetzeko. Gure siliziozko karburozko estaldura trinkoak, tenperatura altuak eta kimikoekiko erresistenteak dira, erdieroaleen fabrikazio ziklo osoan erabili ohi direnak, erdieroaleen obleak eta obleak prozesatzeko eta erdieroaleen fabrikazioa barne.
Garbitasun handiko SiC zeramikazko osagaiak funtsezkoak dira erdieroaleko prozesuetan. Gure eskaintza obleak prozesatzeko ekipoetarako kontsumigarrien piezak dira, hala nola, siliziozko karburoko obleak, palan cantilever, hodiak, etab. Epitaxirako edo MOCVDrako.
Prozesu erdieroaleetarako abantailak
Film meheen deposizio-faseek, esate baterako, epitaxia edo MOCVD, edo obleen manipulazio-prozesamenduak, esaterako, grabatua edo ioi-inplantea, tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan behar dituzte. Semicorex-ek purutasun handiko silizio karburoa (SiC) eraikuntzak beroarekiko erresistentzia handiagoa eta erresistentzia kimiko iraunkorra eskaintzen ditu, baita uniformetasun termikoa ere epi geruzaren lodiera eta erresistentzia koherentea izateko.
Ganberaren estalkiak →
Kristalen hazkuntzan eta obleak manipulatzeko prozesatzeko erabiltzen diren ganberen tapaek tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan behar dituzte.
Cantilever Pala →
Cantilever Paddle erdieroaleen fabrikazio prozesuetan erabiltzen den osagai erabakigarria da, batez ere difusio edo LPCVD labeetan difusioa eta RTP bezalako prozesuetan.
Prozesu-hodia →
Prozesuaren hodia osagai erabakigarria da, erdieroaleen prozesatzeko hainbat aplikaziotan bereziki diseinatua, hala nola RTP, difusioa.
Ostia ontziak →
Wafer Boat erdieroaleen prozesamenduan erabiltzen da, arreta handiz diseinatu da ostia delikatuak ekoizpenaren fase kritikoetan seguru mantentzen direla ziurtatzeko.
Sarrerako eraztunak →
MOCVD ekipamenduak SiC estalitako gasaren sarrerako eraztunak Hazkunde konposatuak bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia du, eta egonkortasun handia du muturreko ingurunean.
Foku eraztuna →
Semicorex-ek siliziozko karburo estalitako foku-eraztuna hornitzen du oso egonkorra da RTA, RTP edo garbiketa kimiko gogorra egiteko.
Ostia Chuck →
Semicorex-eko zeramikazko hutseko obleen zorroak purutasun handiko SiC estalitako obleak manipulatzeko prozesuan erabiltzen dira.
Semicorex-ek zeramikazko produktuak ere baditu Alumina (Al2O3), Silizio Nitruroa (Si3N4), Aluminio Nitruroa (AIN), Zirkonia (ZrO2), Zeramika Konposatua, etab.
Semicorex Silicon Carbide Liner material polifazetikoa eta sendoa da, industria prozesatzeko ekipoen eraginkortasuna eta iraupena optimizatzeko aktibo ezinbesteko gisa balio duena.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC Steering Mirror iraunkortasuna, erresilientzia eta errendimendu optikoa konbinatzen dituen material nabarmena da, eta ezinbestekoa da goi-teknologiako hainbat industriatan sistema optiko aurreratuetan.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Black Zirconia Ring errendimendu handiko osagaia da, eta mekanizazio eta metalurgiako prozesuetan zigilatzeko eta isolatzeko erronka termiko eta kimikoetarako erresistentzia, gogortasun eta erresistentzia nahasketa paregabea eskaintzen du.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Alumina Wafer Polishing Carrier-en aplikazioa hainbat industriatan, erdieroaleetatik hasi eta fotovoltaikoraino, obleen artezketa eta leunketa mekaniko kimikoko (CMP) prozesuetan funtsezkoa dena.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Silizio Karburo Balbula ezinbesteko osagaia da hainbat industria aplikaziotan, korrosioarekiko erresistentzia, tenperatura erresistentzia eta erresistentzia mekaniko paregabeak eskaintzen ditu. Petrokimikotik biofarmaziara bitarteko industrietarako egokia da, ingurune zailenetan ere funtzionamendu eraginkorra eta fidagarria bermatuz.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex-en PBN Electrostatic Chuck-a erdieroaleen fabrikazioan obleen manipulazioaren alorrean nabarmentzen da, bere material propietate bereziengatik.
Irakurri gehiagoBidali kontsulta