Semicorex zure bikotea da erdieroaleen prozesamenduan hobetzeko. Gure siliziozko karburozko estaldura trinkoak, tenperatura altuak eta kimikoekiko erresistenteak dira, erdieroaleen fabrikazio ziklo osoan erabili ohi direnak, erdieroaleen obleak eta obleak prozesatzeko eta erdieroaleen fabrikazioa barne.
Garbitasun handiko SiC zeramikazko osagaiak funtsezkoak dira erdieroaleko prozesuetan. Gure eskaintza obleak prozesatzeko ekipoetarako kontsumigarrien piezak dira, hala nola, siliziozko karburoko obleak, palan cantilever, hodiak, etab. Epitaxirako edo MOCVDrako.
Prozesu erdieroaleetarako abantailak
Film meheen deposizio-faseek, esate baterako, epitaxia edo MOCVD, edo obleen manipulazio-prozesamenduak, esaterako, grabatua edo ioi-inplantea, tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan behar dituzte. Semicorex-ek purutasun handiko silizio karburoa (SiC) eraikuntzak beroarekiko erresistentzia handiagoa eta erresistentzia kimiko iraunkorra eskaintzen ditu, baita uniformetasun termikoa ere epi geruzaren lodiera eta erresistentzia koherentea izateko.
Ganberaren estalkiak →
Kristalen hazkuntzan eta obleak manipulatzeko prozesatzeko erabiltzen diren ganberen tapaek tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan behar dituzte.
Cantilever Pala →
Cantilever Paddle erdieroaleen fabrikazio prozesuetan erabiltzen den osagai erabakigarria da, batez ere difusio edo LPCVD labeetan difusioa eta RTP bezalako prozesuetan.
Prozesu-hodia →
Prozesuaren hodia osagai erabakigarria da, erdieroaleen prozesatzeko hainbat aplikaziotan bereziki diseinatua, hala nola RTP, difusioa.
Ostia ontziak →
Wafer Boat erdieroaleen prozesamenduan erabiltzen da, arreta handiz diseinatu da ostia delikatuak ekoizpenaren fase kritikoetan seguru mantentzen direla ziurtatzeko.
Sarrerako eraztunak →
MOCVD ekipamenduak SiC estalitako gasaren sarrerako eraztunak Hazkunde konposatuak bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia du, eta egonkortasun handia du muturreko ingurunean.
Foku eraztuna →
Semicorex-ek siliziozko karburo estalitako foku-eraztuna hornitzen du oso egonkorra da RTA, RTP edo garbiketa kimiko gogorra egiteko.
Ostia Chuck →
Semicorex-eko zeramikazko hutseko obleen zorroak purutasun handiko SiC estalitako obleak manipulatzeko prozesuan erabiltzen dira.
Semicorex-ek zeramikazko produktuak ere baditu Alumina (Al2O3), Silizio Nitruroa (Si3N4), Aluminio Nitruroa (AIN), Zirkonia (ZrO2), Zeramika Konposatua, etab.
Semicorex-ek aurkeztutako Silizio Nitrurozko Roller-a gas-presioko silizio nitruro sinterizatuz (Si3N4) eginda dago, errendimendu handiko zeramikazko materiala.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC Rotary Seal Ring presio eta tenperatura altuko baldintzetan funtzionatzeko diseinatuta dago. Horrelako inguruneetan duen egonkortasuna eta iraunkortasunari esker, material tradizionalak huts egin ditzaketen zigilatzeko aplikazioetan osagai ezinbestekoa da.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC Robot Arm errendimendu handiko silizio karburozko zeramikazko beso robotiko bat da, erdieroaleen fabrikazio prozesuetan doitasun eta iraunkortasunerako diseinatua. Aukeratu Semicorex erdieroaleen industriaren beharretara egokitutako soluzio berritzaileak, fidagarriak eta kalitatezkoak eskaintzeko dugun esperientziagatik.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC itsasontziak errendimendu handiko silizio karburozko zeramikazko obleen euskarriak dira, difusio prozesuetan zehaztasun eta iraunkortasunerako diseinatuta. Aukeratu Semicorex zure fabrikazio eraginkortasuna optimizatzen duten kalitate paregabea, industria-esperientzia eta neurrira egindako soluzioetarako.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC Wafer Boat Holder purutasun handiko silizio karburo zeramikazko osagai bat da, eguzki-zelulen difusioan N motako TOPCon prozesurako diseinatua, eta aparteko zehaztasuna, iraunkortasuna eta fidagarritasuna eskaintzen ditu. Aukeratu Semicorex material erdieroaleetan soluzio berritzaileetarako, parekorik gabeko esperientzia eta kalitatearekiko konpromisoarekin.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Silicon Carbide Wafer Boats erdieroaleak eta fabrikazio fotovoltaikorako piezak dira, egonkortasun termiko bikaina, erresistentzia mekanikoa eta erresistentzia kimikoa eskaintzen dutenak. Aukeratu Semicorex bere punta-puntako teknologiagatik, materialaren kalitate handiagatik eta prozesu industrial aurreratuen eskakizunei erantzuten dieten produktu fidagarriak eta iraunkorrak emateko konpromisoagatik.*
Irakurri gehiagoBidali kontsulta