SiC hutsezko zorro porotsuak

Semicorex SiC porotsuahutseko zorroakezinbesteko osagaiak dira, erdieroaleen fabrikazio-prozesu aurreratuetan asko erabiltzeko gai direnak, hala nola obleak mehetzea, dadoak, arteztea, leuntzea, fotolitografia, akuafortea. Euren adsortzio-plataforma SiC zeramikazko plaka porotsu batekin eraikita dago, uniformeki banatutako mikro-eskalako poro ugari dituena. Poro-diametro koherentearekin eta zuloen bidezko abiadura paregabearekin, Semicorex-en SiC porotsuak hutsean hustutzeko gas-bide leuna eskaintzen dute. Funtzionamenduan zehar, presio negatibo egonkor eta uniformea ​​sortzen da chuck eta oblearen artean, hutsean eraginkortasun handiko estutu eta erdieroaleen obleak askatzeko aukera emanez.

Semicorex hutseko SiC porotsuen abantailak 

1. Prozesatzeko doitasun apartekoa

Erdieroaleen fabrikazio aurreratuan prozesatutako obleak oso meheak dira, beraz, tolestura txikiak, bibrazioak edo tokiko tentsio irregularrak ere obleen haustura, deformazioa eta zehaztasun murriztua ekar ditzake litografia bezalako prozesu kritikoetan. SemicorexSiC porotsuahutseko chucks zehaztasun handiko artezketa eta leunketa bidez prozesatzen dira, Ra ＜ 0,1 μm-ko gainazal zimurtasun perfektua lortuz. Horri esker, Semicorex-en SiC hutseko portagailu porotsuak doitasun handiko erdieroaleen fabrikaziorako azalera operatibo optimizatua eskaintzea ahalbidetzen du.

2. Garbitasun handia eta korrosioarekiko erresistentzia handia

Erdieroaleen garbitasun estandar zorrotzak guztiz betetzeko, Semicorex-ek SiC hutseko portagailu porotsuak fabrikatzen ditu silizio karburozko purutasun handiko lehengaiekin, tenperatura altuko sinterizazio bidez. Horrek bermatzen du chucks-ek partikulen isurpenik eta kutsadura metaliko migragarririk ez dutela. SiC-ren egonkortasun kimiko bikainaz baliatuta, Semicorex-en SiC hutseko zorro porotsuak korrosio-ingurune gogorrak jasateko gai dira eta ez dute aparteko azpiprodukturik sortzen, eta oso egokiak dira goi-mailako erdieroale garbien fabrikazio prozesuetarako.

3. Iraunkortasun bikaina eta epe luzerako egonkortasuna

Ekoizpen-lerroetan erabiltzen diren hutsezko chuck-ek milaka adsortzio- eta askapen-ziklo jasan behar dituzte, baita epe luzerako tenperatura-gorabeherei ere. Honek oso baldintza altuak ezartzen ditu hutseko chucks-en materialaren errendimenduari dagokionez. Semicorex hutsezko SiC porotsuek materialaren gogortasun eta higadura erresistentzia bikaina dute, hedapen termiko egonkorrarekin. Tenperatura altuko baldintzetan ez dute errendimendurik edo errendimendu-degradaziorik erakusten, eta horrek nabarmen luzatzen du haien zerbitzu-bizitza eta osagaien mantentze- eta ordezkapen-maiztasuna murrizten du.