Kristalen hazkuntzan eta obleak manipulatzeko prozesatzeko erabiltzen den silizio karburoko ganberaren estalkiak tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorra jasan behar ditu. Semicorex Txinan Silizio Karburo Estalitako Grafito Susceptor fabrikatzaile eta hornitzaile handi bat da. Gure produktuek prezio abantaila ona dute eta Europako eta Amerikako merkatu asko estaltzen dituzte. Zure epe luzerako bazkide izatea espero dugu.
Kristal bakarreko hazkuntzan edo MOCVD-n edo obleak manipulatzeko prozesatzeko erabiltzen den silizio-karburoko ganberaren estalkiak tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan behar ditu. Semicorex-ek purutasun handiko silizio karburoa (SiC) estalitako grafitoaren eraikuntzak bero-erresistentzia handiagoa eskaintzen du, baita uniformetasun termikoa ere epi geruzaren lodiera eta erresistentzia koherentea lortzeko, eta erresistentzia kimiko iraunkorra. Iraunkorrak dira gas aitzindari lurrunkorren, plasmaren eta tenperatura altuen konbinazioa bizitzeko.
Gure Silizio Karburoko Ganbara Estalkia gas-fluxu laminarraren eredu onena lortzeko diseinatuta dago, profil termikoaren berdintasuna bermatuz. Horrek kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihesten laguntzen du, obleen txiparen kalitate handiko hazkunde epitaxiala bermatuz.
Jar zaitez gurekin harremanetan gaur Siliziozko Karburoko Ganberaren Estalkiari buruz gehiago jakiteko.
Silizio-karburoko ganberaren estalkiaren parametroak
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristalezko Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
Siliziozko karburoko ganbararen estalkiaren ezaugarriak
● Gaitasun ultra-lauak
● Ispilu-leuntzea
● Aparteko pisu arina
● Zurruntasun handia
● Dilatazio termiko baxua
● Higadura-erresistentzia izugarria