SiC estaldura suszeptorearen gaineko geruza mehe bat da, lurrun-deposizio kimikoaren (CVD) prozesuaren bidez. Silizio karburoaren materialak abantaila ugari eskaintzen ditu silizioaren aldean, besteak beste, 10 aldiz matxura eremu elektrikoaren indarra, 3 aldiz banda hutsunea, materialari tenperatura eta erresistentzia kimiko altuak, higadura erresistentzia bikaina eta eroankortasun termikoa eskaintzen dituena.
Semicorex-ek zerbitzu pertsonalizatua eskaintzen du, gehiago irauten duten osagaiekin berritzen laguntzen dizu, ziklo-denborak murrizten eta etekinak hobetzen laguntzen dizu.
SiC estaldurak hainbat abantaila berezi ditu
Tenperatura Handiko Erresistentzia: CVD SiC estalitako susceptor-ek 1600 °C arteko tenperatura altuak jasan ditzake degradazio termiko nabarmenik jasan gabe.
Erresistentzia kimikoa: siliziozko karburozko estaldurak erresistentzia bikaina eskaintzen die produktu kimiko askori, azidoei, alkaliei eta disolbatzaile organikoei barne.
Higadura-erresistentzia: SiC estaldurak higadura-erresistentzia bikaina eskaintzen dio materialari, eta higadura handia duten aplikazioetarako egokia da.
Eroankortasun termikoa: CVD SiC estaldurak eroankortasun termiko handia ematen dio materialari, bero-transferentzia eraginkorra behar duten tenperatura altuko aplikazioetan erabiltzeko egokia da.
Erresistentzia eta zurruntasun handia: siliziozko karburozko suszeptoreak erresistentzia eta zurruntasun handia ematen dio materialari, eta erresistentzia mekaniko handia behar duten aplikazioetarako egokia da.
SiC estaldura hainbat aplikaziotan erabiltzen da
LED fabrikazioa: CVD SiC estalitako susceptor LED mota ezberdinetako prozesatutako fabrikazioan erabiltzen da, LED urdina eta berdea, UV LED eta UV LED sakona barne, bere eroankortasun termiko eta erresistentzia kimiko handia dela eta.
Komunikazio mugikorra: CVD SiC estalitako susceptor HEMTren zati erabakigarria da GaN-on-SiC epitaxia-prozesua osatzeko.
Erdieroaleen prozesamendua: CVD SiC estalitako susceptor erdieroaleen industrian erabiltzen da hainbat aplikaziotarako, besteak beste, obleak prozesatzeko eta hazkunde epitaxialerako.
SiC estalitako grafito osagaiak
Silizio Karburozko Estaldurak (SiC) grafitoz egina, estaldura CVD metodo baten bidez aplikatzen da dentsitate handiko grafitoaren kalifikazio espezifikoetan, beraz, tenperatura altuko labean funtziona dezake 3000 °C baino gehiago atmosfera geldo batean, 2200 °C hutsean. .
Materialaren propietate bereziek eta masa baxuek berotze-tasa azkarrak, tenperatura banaketa uniformea eta kontrolean zehaztasun bikaina ahalbidetzen dute.
Semicorex SiC Coating-en materialaren datuak
|
Propietate tipikoak |
Unitateak |
Balioak |
|
Egitura |
|
FCC β fasea |
|
Orientazioa |
Zatikia (%) |
111 hobetsi |
|
Solteko dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
|
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
|
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
|
Hedapen termikoa 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
|
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
|
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
|
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
|
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
Ondorioa CVD SiC estalitako susceptor susceptor eta silizio karburoaren propietateak konbinatzen dituen material konposatua da. Material honek propietate bereziak ditu, tenperatura eta erresistentzia kimiko altuak barne, higadura erresistentzia bikaina, eroankortasun termiko handia eta indar eta zurruntasun handia. Propietate hauek tenperatura altuko hainbat aplikaziotarako material erakargarria bihurtzen dute, erdieroaleen prozesaketa, prozesaketa kimikoa, tratamendu termikoa, eguzki-zelulen fabrikazioa eta LED fabrikazioa barne.
Semicorex 1x2" grafitozko obleen susceptor-ak 2 hazbeteko obleetarako bereziki diseinatutako errendimendu handiko osagaiak dira, erdieroaleen obleen prozesu epitaxialerako egokiak direnak. Aukeratu Semicorex materialaren garbitasunerako, doitasuneko ingeniaritzarako eta hazkuntza-ingurune zorrotzetarako epitaxial fidagarritasun paregaberako.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC estalitako grafito-plakak SiC eta GaN epitaxiaren eskakizun zorrotzetarako bereziki diseinatutako garbitasun handiko eramaileak dira, CVD Silizio-karburoaren estaldura trinkoa erabiliz grafito isostatikoko substratu batean, errendimendu handiko obleak prozesatzeko hesi termiko egonkor eta inerte kimiko bat emateko. Semicorex-ek produktu eta zerbitzu kualifikatuak hornitzen ditu mundu mailako bezeroentzat.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSiC estalitako grafitoz egindako Semicorex SiC epi-wafer suszeptoreak tenperatura altuko hazkuntza epitaxial prozesuetan uniformetasun termiko eta egonkortasun kimiko bikainak eskaintzeko diseinatuta daude. Semicorex-ek mundu osoko bezeroei kalitate goreneko produktuak eta zerbitzurik onena eskaintzeko konpromisoa hartu du. Espezializazio tekniko sendoarekin eta fabrikazio-gaitasun fidagarriekin, mundu mailako bazkideei errendimendu egonkorra eta epe luzerako balioa lortzen laguntzen diegu.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC estalitako suszeptore epitaxialak erdieroaleen epitaxia-hazkuntza-prozesuan erabiltzen diren funtsezko osagaiak dira oblei erdieroaleak modu egonkorrean eusteko eta finkatzeko. Fabrikazio-gaitasun helduak eta punta-puntako produkzio-teknologiak aprobetxatuz, Semicorex-ek merkatuan puntako kalitatea eta prezio lehiakorreko SiC estalitako suszeptore epitaxialak hornitzeko konpromisoa hartu du gure bezero estimatuentzat.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSiC estalitako grafito MOCVD suszeptoreak metal-organiko-lurrun-deposizio kimikoen (MOCVD) ekipoetan erabiltzen diren funtsezko osagaiak dira, obleen substratuak eusteaz eta berotzeaz arduratzen direnak. Kudeaketa termiko, erresistentzia kimiko eta dimentsio-egonkortasun handia dutenez, SiC estalitako grafito MOCVD suszeptoreak kalitate handiko obleen substratu epitaxirako aukerarik egokienak dira.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSiC estalitako grafitozko erretilua puntako pieza erdieroalea da, Si substratuei tenperatura kontrol zehatza eta euskarri egonkorra ematen diena silizio epitaxialaren hazkuntza prozesuan. Semicorex-ek beti ematen dio lehentasuna bezeroen eskariari, bezeroei kalitate handiko erdieroaleak ekoizteko behar diren oinarrizko osagaien soluzioak eskainiz.
Irakurri gehiagoBidali kontsulta