1x2" grafitozko obleen susceptor

Obleen erdieroaleen fabrikazioan, geruza epitaxiala obleen substratuan hazi behar da gailu erdieroaleak gero fabrikatzeko. Hazkuntza epitaxialaren prozesua tenperatura-gorabeherekin eta kutsadurarekin oso sentikorra denez, fidagarrien hautaketakobleen suszeptoreakgarrantzitsuak dira. Oblea epitaxialeko prozesuko euskarri ezinbesteko piezak direnez, mekanizazio-zehaztasuna, kudeaketa termikoaren gaitasuna eta kutsadura-erresistentzia-errendimendua funtsezko faktoreak dira kalitate handiko oblearen epitaxiaren hazkundea lortzeko.

Semicorex 1x2" grafito obleen suszeptoreen funtzioak

Ale ultra-finez, purutasun handiko grafitoz egina, beren matrize gisa silizio karburozko estaldura trinkoarekin prozesu berezien bidez, Semicorex 1x2" grafitozko obleen susceptorek funtzio hauek betetzen dituzte:

1.Ustiapen segurua eta zaharkitua

Semicorex 1x2"grafitoaobleen susceptor-ek doitasun-mekanizazioa eta tratamendua dituzte, gainazaleko lautasun eta dimentsio-zehaztasun paregabeak eskaintzen dituzte. Honek posizio egoki batean irmoki bermatuta daudela bermatzen du eta euskarri-plataforma egonkor eta laua eskaintzen du obleen epitaxiaren hazkunderako.

2. Zehaztasun Uniforme Bero Banaketa

Grafitoaren eta SiC materialen eroankortasun termiko bikainarekin, Semicorex 1x2" grafito obleen suszeptoreek bero-banaketa azkarra eta uniformea ​​eskaintzen dute substantzia erdieroalean zehar. Tenperatura-gradienteak gutxituz, Semicorex 1x2" grafito obleen suszeptoreek modu eraginkorrean saihestu ditzakete kalitate epitaxial irregularra eta estresaren kontzentrazioa bezalako arazoak.

Semicorex silizio karburoaren estalduraren abantailak

1.Corrosioarekiko erresistentzia handia

Silizio karburozko estaldura trinkoz estalita, Semicorex 1x2" grafitozko obleen suszeptoreek eraginkortasunez erresistenteak dira produktu kimiko gehienekiko, eta egokiak dira funtzionamendu-baldintza oso korrosiboetan aplikazioetarako, non materiala gas korrosiboen eta lurrun kimikoen eraginpean egon ohi den.

2.Partikulen isurketa baxua

Semicorexsiliziozko karburozko estalduralotura-indar handia du grafito-matrizearekin, eta horrek nabarmen saihestu dezake substratua kutsatzeko arriskua estalduraren urruntzearen ondorioz, korrosioaren eta korrosio handiko inguruneek eragindako partikulen erorketaren ondorioz.

3. Zerbitzu-bizitza fidagarria

Grafitozko matrizeek egonkortasun termiko eta erresistentzia mekaniko bikainak erakusten dituzten arren, prozesu epitaxialaren funtzionamendu-baldintzetan korrosio eta pulverizaziorako joera du, estali gabeko grafito matrizeen iraupena asko laburtzen du. Grafitozko matrizeak SiC estaldura trinkoekin erabat kapsulatzen baditugu, gure 1 × 2" grafitozko obleen susceptorrek iraunkortasun handiagoa eta fidagarria lortzen dute.

Semicorex SiC Coating-ren material datuak