TaC estaldura grafitoa purutasun handiko grafitoko substratu baten gainazala tantalio karburozko geruza fin batekin estaliz sortzen da, Lurrun Kimikoen Deposizio (CVD) prozesu propio baten bidez.
Tantalo karburoa (TaC) tantalioz eta karbonoz osatutako konposatu bat da. Eroankortasun elektriko metalikoa du eta aparteko urtze-puntu altua du, eta bere indarra, gogortasuna eta beroa eta higadura erresistentziagatik ezaguna den zeramikazko material erregogorra da. Tantalo Karburoen urtze-puntuak 3880 °C inguruko gailurra du purutasunaren arabera eta konposatu bitarren artean urtze-puntu handienetako bat du. Horrek alternatiba erakargarria bihurtzen du tenperatura-eskaerek MOCVD eta LPE bezalako prozesu epitaxial konposatuetan erabiltzen diren errendimendu-gaitasunak gainditzen dituztenean.
Semicorex TaC Coating-ren material datuak
Proiektuak |
Parametroak |
Dentsitatea |
14,3 (gm/cm³) |
Emisibotasuna |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Gogortasuna (HK) |
2000 |
Erresistentzia (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Egonkortasun termikoa |
<2500℃ |
Grafitoaren Dimentsio Aldaketa |
-10~-20um (erreferentzia-balioa) |
Estalduraren lodiera |
≥20um balio tipikoa (35um±10um) |
|
|
Aurrekoak balio tipikoak dira |
|
Semicorex TaC Coated Graphite Chuck erdieroaleen fabrikazioan obleak zehatz manipulatzeko eta tenperatura altuko prozesuetarako diseinatutako errendimendu handiko osagaia da. Aukeratu Semicorex bere produktu berritzaile eta iraunkorrengatik, erdieroaleen aplikazio zorrotzetan errendimendu eta iraupen ezin hobea bermatzen dutenak.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex TaC eraztuna SiC kristal bakarreko hazkuntzarako diseinatutako errendimendu handiko osagaia da, gas-fluxuaren banaketa eta tenperatura kontrola optimoa bermatuz. Aukeratu Semicorex material aurreratuetan eta doitasun ingeniaritzan dugun esperientziagatik, zure erdieroaleen prozesuen eraginkortasuna eta kalitatea hobetzen dituzten irtenbide iraunkor eta fidagarriak eskainiz.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Tantalum Carbide Part TaC estalitako grafito-osagai bat da, silizio karburoaren (SiC) kristalen hazteko aplikazioetan errendimendu handiko erabilerarako diseinatua, tenperatura eta erresistentzia kimiko bikaina eskaintzen duena. Aukeratu Semicorex kalitate handiko osagai fidagarriak lortzeko, kristalaren kalitatea eta ekoizpen eraginkortasuna erdieroaleen fabrikazioan hobetzen duten.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Tantalum Carbide eraztunak erdieroaleen fabrikazio prozesu aurreratuetan erabiltzen diren osagai kritikoak dira. Bere aparteko gogortasunagatik, urtze-puntu altuagatik eta inertetasun kimikoagatik ezagunak, Semicorex-en, kalitate eta errendimendu estandarrik altuenak betetzen dituzten produktuak helarazten dihardugu, gure bezeroak erdieroaleen industrian berrikuntzaren abangoardian mantentzen direla bermatuz.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex TaC Coating Wafer Susceptor tantalio karburoz estalitako grafitozko erretilu bat da, siliziozko karburoko epitaxia hazkundean erabiltzen dena obleen kalitatea eta errendimendua hobetzeko. Aukeratu Semicorex estaldura-teknologia aurreratuengatik eta SiC epitaxiaren emaitza bikainak eta suszeptore-bizitza luzea bermatzen duten soluzio iraunkorrengatik.*
Irakurri gehiagoBidali kontsultaTaC Coating Guide Rings tantalio karburozko estaldura duten grafitozko eraztunak dira, siliziozko karburozko kristal hazteko labeetan erabiltzeko diseinatuta, kristalaren kalitatea hobetzeko. Aukeratu Semicorex bere estaldura-teknologia aurreratuagatik, iraunkortasun handiagoa, egonkortasun termikoa eta kristalen hazkundearen errendimendu optimizatua bermatuz.*
Irakurri gehiagoBidali kontsulta