TaC estalitako plaka planetarioa

Semicorex TaC estalitako plaka planetarioa MOCVD erreaktoreen osagai nagusi gisa balio du, eta bere gainazalean kokatutako obleen poltsiko ugarik ezaugarritzen duen diseinu planetarioa erakusten du. Poltsiko hauek bereziki sortu dira obleak fidagarritasunez egokitzeko edozein geruza epitaxialaren hazkuntza fasean, substratu obleak egonkortuz eta prozesuko tenperatura altuetan substratuaren mugimendua minimizatzeko. Poltsikoko geometria zehatzak obleen kokapen koherentea eskaintzen du, geruza epitaxialen lodiera uniformea ​​lortzeko eta prozesu berean hazitako oblea guztien substratu-akatsen uniformetasun-mailak.

Plaka planetarioaren diseinu-alderdi garrantzitsu bat, berriro ere, plakaren gainazalean gas-fluxu finen zuloen barreiapena da. Zulo hauek arretaz diseinatuta eta estrategikoki kokatuta daude erreaktoreko gas aitzindarien fluxua neurtzeko, beraz, gasen sakabanaketa uniformea ​​eta jalkitze uniformea ​​lortzen da oblea bakoitzaren artean. MOCVD edozein prozesutan, gas-dinamikaren alderdiak funtsezkoak dira filmaren kalitateak, lodiera-uniformitatea eta gailuaren errendimendu orokorra zehazteko. Zuloaren diseinu optimizatuaTaC estalitaPlanetary Plate-k ostia guztiek prozesu-baldintza berdinak jasaten dituztela ziurtatzen du, eta horrek etekina eta erreproduzigarritasuna hobetzeko modu ezin hobea eskaintzen du.

TheTaC (tantalo-karburoa) estalduraare gehiago luzatzen du planetaren plakaren errendimendua eta bizitza. Tantalo karburoa oso gogorra da, kimikoki geldoa eta termikoki eroalea da, eta muturreko MOCVD inguruneetarako estaldura bikaina da. Epitaxian, erreaktoreko osagaiek tenperatura altuak, gas aitzindari erreaktiboak eta plasma esposizioa topatuko dituzte. TaC estaldurak korrosioaren, oxidazioaren eta partikulak sortzeko hesi sendo gisa balio du, estali gabeko edo ohiko estalitako plaka baten aldean, plaka planetarioaren bizitzaren luzapen handia izateko.

TaC estalita Planetary Plate-ren iraupena eta iraunkortasuna MOCVD sistemetarako aukera errentagarria da. TaC geruza iraunkorrak ziklo termiko errepikatuak eta prozesu muturreko gasen esposizioa jasan ditzake, egituraren osotasuna eta errendimenduaren egonkortasuna mantenduz denbora luzeetan funtzionatzen duen bitartean.