SiC epitaxi-hartzailea

Zehaztasunarekin egina eta fidagarritasunerako diseinatua, SiC Epitaxy Susceptor-ek korrosioarekiko erresistentzia handia, eroankortasun termiko handia, shock termikoarekiko erresistentzia eta egonkortasun kimiko handia ditu, atmosfera epitaxial batean modu eraginkorrean funtziona dezan. MOCVD ekipoetan funtsezko osagaia. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

SiC Epitaxy Susceptor MOCVD ekipoetan erabiltzen den osagai kritikoa da kristal bakarreko substratuak babesteko eta berotzeko. Bere errendimendu parametro gorenek, hala nola egonkortasun termikoa eta uniformetasun termikoa, paper erabakigarria dute material epitaxialaren hazkuntzaren kalitatean, film meheko materialetan uniformetasun eta garbitasun maila altua bermatuz.

SiC Epitaxy Susceptor-ek dentsitate bikaina du, babes eraginkorra eskaintzen du tenperatura altuetan eta lan-ingurune korrosiboetan. Gainera, gainazaleko lautasun-maila handiak ezin hobeto betetzen ditu substratuaren gainazaleko kristal bakarreko hazkuntzarako baldintzak.

SiC Epitaxy Susceptor-en hedapen termikoaren desberdintasunen gutxieneko koefizienteak nabarmen hobetzen du epitaxiaren substratuaren eta estaldura-materialaren arteko lotura-indarra, eta horrela, tenperatura altuko ziklo termikoa jasan ondoren pitzaduraren probabilitatea murrizten du.

Aldi berean, eroankortasun termiko handia erakusten du, txiparen hazkunderako bero banaketa azkarra eta uniformea erraztuz. Gainera, bere urtze-puntu altuak, tenperatura-erresistentzia, oxidazio-erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia funtzionamendu egonkorra ahalbidetzen dute tenperatura altuko eta korrosiboko lan-inguruneetan.

MOCVD ekipoen erreakzio-ganberaren osagai erabakigarri gisa, SiC Epitaxy Susceptor-ek abantailak izan behar ditu, hala nola tenperatura altuko erresistentzia, eroankortasun termiko uniformea, egonkortasun kimiko ona eta shock termikoaren aurkako erresistentzia handia. Semicorex SiC Epitaxy Susceptor-ek baldintza horiek guztiak betetzen ditu.