SiC Epi-Wafer Susceptor

Semicorex Txinan Silizio Karburo Estalitako Grafito Susceptor fabrikatzaile eta hornitzaile handi bat da. Erdieroaleen industrietan zentratzen gara, hala nola siliziozko karburo geruzak eta epitaxia erdieroaleak. Gure SiC Epi-Wafer Susceptor-ek prezio abantaila ona du eta Europako eta Amerikako merkatu asko estaltzen ditu. Zure epe luzerako bazkide izatea espero dugu.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

Semicorex-ek obleak eusteko erabiltzen den MOCVD-k estalitako SiC Epi-Wafer Susceptor hornitzen du. Garbitasun handiko silizio karburoa (SiC) estalitako grafitoaren eraikuntzak bero-erresistentzia handiagoa eskaintzen du, baita uniformetasun termikoa ere epi geruzaren lodiera eta erresistentzia koherentea lortzeko, eta erresistentzia kimiko iraunkorra. SiC kristal fineko estaldurak gainazal garbi eta leuna eskaintzen du, maneiatzeko ezinbestekoa den obleak suszeptorearekin harremanetan jartzen baitira eremu osoan zehar.
Gure SiC Epi-Wafer Susceptor gas fluxu laminarraren eredu onena lortzeko diseinatuta dago, profil termikoaren berdintasuna bermatuz. Horrek kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihesten laguntzen du, obleen txiparen kalitate handiko hazkunde epitaxiala bermatuz.
Jar zaitez gurekin harremanetan gaur gure SiC Epi-Wafer Susceptor-ari buruz gehiago jakiteko.

SiC Epi-Wafer Susceptor-en parametroak

CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak
SiC-CVD propietateak
Kristal Egitura	FCC β fasea
Dentsitatea	g/cm³	3.21
Gogortasuna	Vickers gogortasuna	2500
alearen tamaina	Î¼m	2~10
Garbitasun kimikoa	%	99.99995
Bero Ahalmena	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimazio-tenperatura	℃	2700
Indar felesural	MPa (RT 4 puntu)	415
Gaztearen modulua	Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300â)	430
Hedapen termikoa (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Eroankortasun termikoa	(W/mK)	300

SiC Epi-Wafer Susceptor-en ezaugarriak

Garbitasun handiko SiC estalitako grafitoa
Beroarekiko erresistentzia eta uniformetasun termiko handiagoa
SiC kristal finak estalitako gainazal leun baterako
Iraunkortasun handia garbiketa kimikoen aurka
Materiala pitzadurak eta delaminazioa gerta ez dadin diseinatuta dago.