Silizio-karburoaren epitaxia suszeptorea

Semicorex Txinan Silizio Carbide Epitaxy Susceptor fabrikatzaile eta hornitzaile handi bat da. Erdieroaleen industrietan zentratzen gara, hala nola siliziozko karburo geruzak eta epitaxia erdieroaleak. Gure produktuek prezio abantaila ona dute eta Europako eta Amerikako merkatu asko estaltzen dituzte. Zure epe luzerako bazkide izatea espero dugu.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

Semicorex-ek SiC estaldura-prozesuko zerbitzuak eskaintzen ditu CVD metodoaren bidez grafitoaren, zeramikazko eta beste materialen gainazalean, hala nola, silizio-karburoaren epitaxi-suszeptorea, karbonoa eta silizioa duten gas bereziek tenperatura altuan erreakziona dezaten, purutasun handiko SiC molekulak lortzeko. estalitako materialen azalera, SIC babes-geruza osatuz. Eratutako SIC-a grafito-oinarriari sendo lotzen zaio, grafito-oinarriari propietate bereziak emanez, horrela grafitoaren gainazala trinkoa, porositaterik gabekoa, tenperatura altuko erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia eta oxidazio-erresistentzia bihurtuz.
Gure Silizio Karburoaren Epitaxi Susceptor gas-fluxu laminar eredu onena lortzeko diseinatuta dago, profil termikoaren berdintasuna bermatuz. Horrek kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihesten laguntzen du, obleen txiparen kalitate handiko hazkunde epitaxiala bermatuz.
Jar zaitez gurekin harremanetan gaur gure Silizio Karburo Epitaxi Susceptor-ari buruz gehiago jakiteko.

Silizio-karburoaren epitaxi-jasotzailearen parametroak

CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak
SiC-CVD propietateak
Kristalezko Egitura	FCC β fasea
Dentsitatea	g/cm³	3.21
Gogortasuna	Vickers gogortasuna	2500
alearen tamaina	Î¼m	2~10
Garbitasun kimikoa	%	99.99995
Bero Ahalmena	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimazio-tenperatura	℃	2700
Indar felesural	MPa (RT 4 puntu)	415
Gaztearen modulua	Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300â)	430
Hedapen termikoa (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Eroankortasun termikoa	(W/mK)	300

Silizio-karburoaren epitaxia susceptoraren ezaugarriak

- Grafitozko substratuak eta siliziozko karburozko geruzak dentsitate ona dute eta babes funtzio ona izan dezakete tenperatura altuetan eta lan-ingurune korrosiboetan.
- Kristal bakarreko hazkuntzarako erabiltzen den silizio karburoz estalitako suszeptoreak gainazaleko lautasun oso handia du.
- Murriztu hedapen termikoaren koefizientearen aldea grafitoaren substratuaren eta siliziozko karburoaren geruzaren artean, eraginkortasunez hobetu lotura indarra pitzadura eta delaminazioa saihesteko.
- Bai grafitozko substratuak bai siliziozko karburozko geruzak eroankortasun termiko handia dute eta beroa banatzeko propietate bikainak dituzte.
- Urtze-puntu altua, tenperatura altuko oxidazio erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia.