SiC Disko Hargailua

Kalitatearen eta berrikuntzaren aldeko apustu sakonarekin, Semicorex-en SiC Disc Susceptor ultrapuruak epitaxia, MOCVD eta RTP ekipoetan errendimendurako estandar berri bat ezartzen du. Kolpe termikoen erresistentzia paregabea, eroankortasun termiko handia, erresistentzia kimiko bikaina eta purutasun oso altua konbinatuz, ingeniaritza-osagai hauek erdieroaleen fabrikatzaileei ahalmena ematen diete eraginkortasun, fidagarritasun eta produktuen kalitate paregabeak lortzeko. Semicorex-en soluzio pertsonalizagarriek, gainera, prozesatzeko aplikazio termiko bakoitzak bere eskakizun bereziak asetzeko diseinatutako doitasun-ingeniaritza optimizatu eta doitasunez diseinatutako osagaien etekina ateratzen duela bermatzen du.

Kolpe termikoen erresistentzia bikaina:SiC Disc Susceptor-ek tenperatura-gorabehera azkarrak jasaten ditu, ohikoak direnak RTP eta tenperatura altuko beste prozesu batzuetan. Kolpe termikoen erresistentzia aparteko honek egituraren osotasuna eta iraupena bermatzen ditu, bat-bateko tenperatura-aldaketen ondorioz kalteak edo hutsegite arriskua gutxituz eta prozesatzeko ekipo termikoen fidagarritasuna areagotuz.

Goi-eroankortasun termikoa:Bero-transferentzia eraginkorra funtsezkoa da tratamendu termikoko aplikazioetan. SiC Disc Susceptor-en eroankortasun termiko bikainak beroketa eta hozte azkarra eta uniformea ​​bermatzen du, ezinbestekoa tenperatura kontrolatzeko eta prozesuaren uniformetasunerako. Horrek prozesuen eraginkortasuna hobetzea, ziklo-denbora murriztea eta kalitate handiagoko obleak erdieroaleak lortzen ditu.

Erresistentzia kimiko paregabea:SiC Disc Susceptor-ek epitaxia, MOCVD eta RTP prozesuetan erabiltzen diren produktu kimiko korrosibo eta erreaktibo sorta zabalari erresistentzia bikaina eskaintzen dio. Inertetasun kimiko honek azpiko grafitoa degradaziotik babesten du, prozesuaren ingurunea kutsatzea saihesten du eta funtzionamendu-aldi luzeetan errendimendu koherentea bermatzen du.

Garbitasun oso altua: SiC Disc Susceptor-a purutasun ultra-altuko estandarrekin fabrikatzen da bai grafitorako bai SiC estaldurarako, kutsadura potentziala saihestuz eta akatsik gabeko gailu erdieroaleen ekoizpena bermatuz. Garbitasunarekiko konpromiso horrek etekin handiagoak eta gailuaren errendimendu hobeak esan nahi ditu.

Forma konplexuen erabilgarritasuna:Semicorex-en fabrikazio-gaitasun aurreratuek SiC Disc Susceptor-a ekoizteko aukera ematen dute bezeroen eskakizun zehatzetara egokitutako forma konplexuetan. Malgutasun honek prozesamendu termikoko hainbat aplikazioren behar zehatzak asetzen dituzten soluzio pertsonalizatuak diseinatzea ahalbidetzen du, prozesuen eraginkortasuna eta ekipoen bateragarritasuna hobetuz.

Atmosfera oxidatzaileetan erabil daiteke:CVD SiC estaldura sendoak oxidazioaren aurkako babes bikaina eskaintzen du, SiC Disc Susceptor-ek ingurune oxidatzaileetan modu fidagarrian funtziona dezan. Honek prozesu termiko sorta zabalago batera aplikagarritasuna zabaltzen du, aldakortasuna eta moldagarritasuna bermatuz.

Errendimendu sendoa eta errepikakorra:Tenperatura handiko eta hutseko inguruneetarako diseinatua, SiC Disc Susceptor-ek errendimendu sendoa eta errepikagarria eskaintzen du. Bere iraunkortasunari eta koherentziari esker, prozesamendu termikoko aplikazio kritikoetarako aproposak dira, geldialdi-denborak, mantentze-kostuak murriztuz eta epe luzerako fidagarritasun operatiboa bermatuz.

Semicorex CVD SiC estalitako osagaiak pertsonalizatzen espezializatuta dago prozesatzeko ekipo termikoen behar anitzak asetzeko, besteak beste:

Zabaltzaileak:Hobetu gasaren banaketaren uniformetasuna eta prozesuaren koherentzia.

Isolatzaileak:Isolamendu termikoa eta babesa ematea tenperatura altuko inguruneetan.

Beste osagai termiko pertsonalizatuak:Prozesuaren eskakizun zehatzak betetzeko eta ekipoen errendimendua optimizatzeko diseinatutako neurrira egindako soluzioak.