SiC estalitako epitaxia diskoa

Semicorex SiC Coated Epitaxy Disc-ek erdieroaleen industrian abantaila paregabeak ditu, eta honela landu daitezke:

Hedapen termikoaren koefiziente baxua: SiC estalitako epitaxi diskoak hedapen termikoaren koefiziente baxua dauka, eta hori ezinbestekoa da dimentsio-egonkortasuna ezinbestekoa den erdieroaleen prozesamenduan. Atributu honek ziurtatzen du SiC Estalitako Epitaxi Diskoak hedapen edo uzkurdura minimoa jasaten duela tenperatura aldaketetan, tenperatura altuko prozesuetan erdieroaleen egituraren osotasuna mantenduz.

Tenperatura altuko oxidazio erresistentzia: oxidazio erresistentzia nabarmenarekin diseinatua, SiC estalitako epitaxi disko honek bere egitura-osotasuna mantentzen du tenperatura altuetan, eta osagai ezin hobea da tenperatura altuko erdieroaleen prozesuetan aplikazioetarako, non egonkortasun termikoa funtsezkoa den.

Gainazal trinkoa eta fin-porosoa: SiC estalitako epitaxi diskoaren gainazala bere dentsitatea eta porositate fina da, hainbat estaldura atxikitzeko gainazaleko ehundura ezin hobea eskaintzen duena eta materiala kentzea eraginkorra bermatzen du erdieroaleen obleak prozesatzen diren bitartean gainazal delikatua kaltetu gabe.

Gogortasun handia: estaldurak gogortasun-maila handia ematen dio grafito-diskoari, marradurari eta higadurari erresistentea dena, eta horrela SiC Estalitako Epitaxi Diskoaren bizitza iraupena luzatzen du eta erdieroaleen fabrikazio-inguruneetan ordezkatzeko maiztasuna murrizten du.

Azido, oinarri, gatz eta erreaktibo organikoekiko erresistentzia: SiC Coated Epitaxy Disc-ren CVD SiC estaldurak erresistentzia bikaina eskaintzen du agente korrosibo ugariren aurrean, azido, base, gatz eta erreaktibo organikoen aurrean, inguruneetan erabiltzeko egokia da. esposizio kimikoa kezkagarria da, eta horrela ekipoaren fidagarritasuna eta iraupena hobetzen ditu.

Beta-SiC gainazaleko geruza: SiC Coated Epitaxy Disc-aren SIC (Silizio-karburoa) gainazaleko geruza beta-SiC-z osatuta dago, zeinak aurpegi-zentratutako kubiko (FCC) kristal-egitura du. Kristal-egitura honek estalduraren propietate mekaniko eta termiko apartekoei laguntzen die, diskoari erresistentzia eta eroankortasun termikoa handiagoa eskainiz, ezinbestekoa dena erdieroaleak prozesatzeko ekipoetarako.