Produktuak

Sicorex RTP estaldura plakak errendimendu handiko wafer garraiolariak dira, prozesatzeko termikoko ingurune azkarrak zorrotz erabiltzeko. Erdieroaleko fabrikatzaile garrantzitsuenez fidatzen da, erdieroxek egonkortasun termikoa, iraunkortasuna eta kutsadura kontrolatzea kalitate estandar zorrotzak eta zehaztasun fabrikazioaren bidez babesten dute. *

Semicorex RTP Ring SiC estalitako grafitozko eraztun bat da, Prozesamendu Termiko Azkarra (RTP) sistemetan errendimendu handiko aplikazioetarako diseinatua. Aukeratu Semicorex gure material teknologia aurreratuagatik, erdieroaleen fabrikazioan iraunkortasun, doitasun eta fidagarritasun handiagoak bermatuz.*

Semicorex-en RTP Graphite Carrier Plate irtenbide ezin hobea da erdieroaleen obleak prozesatzeko aplikazioetarako, hazkunde epitaxiala eta obleak manipulatzeko prozesatzeko barne. Gure produktua bero-erresistentzia eta uniformetasun termiko handiagoa eskaintzeko diseinatuta dago, epitaxia suszeptoreak jalkitze-ingurunea jasaten dutela bermatuz, bero eta korrosioarekiko erresistentzia handiarekin.

Semicorex RTP SiC Coating Carrier-ek bero-erresistentzia eta uniformetasun termikoa eskaintzen ditu, erdieroaleen obleak prozesatzeko aplikazioetarako soluzio ezin hobea da. Kalitate handiko SiC estalitako grafitoarekin, produktu hau epitaxial hazkunderako deposizio-ingurune gogorrenari aurre egiteko diseinatuta dago. Eroankortasun termiko altuak eta beroa banatzeko propietate bikainak RTA, RTP edo garbiketa kimiko gogorraren errendimendu fidagarria bermatzen dute.

Semicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier deposizio-inguruneko baldintza gogorrenei aurre egiteko diseinatuta dago. Beroari eta korrosioari erresistentzia handiari esker, produktu hau hazkuntza epitaxialerako errendimendu optimoa emateko diseinatuta dago. SiC estalitako eramaileak eroankortasun termiko handia eta beroa banatzeko propietate bikainak ditu, RTA, RTP edo garbiketa kimiko gogorraren errendimendu fidagarria bermatuz.

Semicorex SiC Graphite RTP Carrier Plate-rako MOCVDrako bero-erresistentzia eta uniformetasun termiko handiagoa eskaintzen du, erdieroaleen obleak prozesatzeko aplikazioetarako soluzio ezin hobea da. Kalitate handiko SiC estalitako grafito batekin, produktu hau epitaxial hazkunderako deposizio-ingurune gogorrenari aurre egiteko diseinatuta dago. Eroankortasun termiko altuak eta beroa banatzeko propietate bikainak RTA, RTP edo garbiketa kimiko gogorraren errendimendu fidagarria bermatzen dute.