Poly-Si zirrikituzko eraztunak

Poly-Si zirrikituzko eraztunak erdieroaleen grabaketa-ekipo aurreratuen erreakzio-ganberan instalatzen dira normalean. Sinergikoki funtzionatzen dute siliziozko piezekin, silizioarekin barnefoku eraztunak, siliziozko kanpoko eraztunak eta silizioadutxaburuak. Pieza hauek erreakzio-ingurune egonkor eta optimoa sor dezakete grabaketa-prozesurako, eta, ondorioz, ezin hobea daakuaforteazehaztasuna eta prozesuaren koherentzia.

Semicorex poly-Si zirrikituzko eraztunen funtzioak

1. Semicorex poly-Si zirrikituzko eraztunak uniformeki banatutako zirrikitu ugariz hornituta daude, gas-pasabide gisa balio dutenak, erreakzioaren ondoren prozesuko gasen ihes leuna ahalbidetzen dutenak.

2. Semicorex poly-Si zirrikituzko eraztunak plasma kontrol bikaina lortzeko gai dira, erdieroaleen grabaketa-ekipoen erreakzio-ganberari babes fidagarria eskainiz.

3. Semicorex poly-Si zirrikituzko eraztunek eremu elektrikoa eta ganberaren presioa doitzen lagun dezakete, horrela ezegonkortasunak grabaketa-prozesuaren koherentziari eragin diezaion.

Estandar handiko material aukeraketa

Semicorex poly-Si zirrikituzko eraztunak kalitate handiko silizio polikristalinoz fabrikatzen dira, %99,9999tik gorako purutasun mailarekin, eta horrek propietate bikainak ematen dizkie honela.

1. Garbitasun oso altua eta ezpurutasun eduki oso baxua.

2. Plasmako korrosioarekiko erresistentzia paregabea.

3. Propietate elektriko onak, erresistentzia-uniformitatearekin: RRG ≤ % 5, erres. baxua. (<0,02), erdiko erres. (1-4), eta erresoluzio altua. (70-90).

Fabrikazio gaitasunak eta kalitate kontrola

Mekanizazio-ekipo aurreratuez eta esperientziadun talde teknikoaz hornituta, Semicorex-ek zorrozki kontrolatzen ditu produkzio-prozesu bakoitza eta kalitate handiko eta ondo parekatuta dauden poli-Si zirrikituzko eraztunak eskaintzen dizkie gure bezero estimatuei. Gainera, Semicorex-ek kontrol zorrotza egiten du dimentsioko neurketa, erresistentzia-probak eta ikus-ikuskapena amaitutako poli-Si zirrikitu-eraztunetan, txirbil, marradura, pitzadura eta orban bezalako akatsik gabe ziurtatzeko.