Silicon Wafer Boat

Semicorex-ek siliziozko obleen txalupa-egitura pertsonaliza dezake, zirrikituaren hagaxka forma, hortz-hortzen luzera, forma, okertze angelua eta oblea kargatzeko ahalmen osoa barne, eta bezeroen eskakizunen arabera ekoiztu daiteke. Tenperatura altuko siliziozko itsasontziek siliziozko obleen kontaktuaren kalteak eraginkortasunez murrizten dituzte eta prozesuen etekina hobetu dezakete. Bere tenperatura altuko "dorre irristagaitzak" diseinuak euskarri-hortzaren puntan bakarrik onartzen ditu obleak. -rekin alderatutasilizio karburoa, silizioak gogortasun nahiko baxua du, eta horrek obleen kalte mekanikoa murrizten du, horrela sarearen pasabide-tasa hobetzen du eta ekoizpen kostuak eraginkortasunez murrizten ditu. Silizio fusionatutako ontzia hainbat zatiz osatuta dago: hortzak, oinarri-plaka eta goiko plaka, elkarrekin fusionatzen direnak. Horrek ekoizpen kostuak murrizten ditu. Kalte partziala gertatuz gero, kaltetutako piezak ordezkatu daitezke siliziozko itsasontzi osoa ordezkatu gabe, erabileran zehar jabetza kostuak nabarmen murriztuz. Horrez gain, siliziozko itsasontziak polisiliziozko deposizioaren goiko muga handia du, PM ekipoen maiztasuna eraginkortasunez murrizten duena eta ekoizpen ahalmena hobetu dezakeena.

Semicorex Silicon Wafer Boat obleen eramaile berritzailea da, horretarako diseinatua. Erdieroaleen industrian erabiltzen den tenperatura altuko labe prozesatzeko bereziki sortu da, 1200 eta 1250 °C arteko tenperaturetan oxidazio eta murrizketa prozesuak barne. Siliziozko karburoko (SiC) materialetan eskuragarri ez dauden errendimendu onurak ditu, Siliziozko Wafer Boat-ek erdieroaleen fabrikazio prozesu zorrotzei dagozkion abantailak eskaintzen ditu. Lehenik eta behin, silizio materialaren purutasun ultra-altua esanguratsua da; hain zuzen ere, dusiliziozko materiala9N (% 99,9999999) baino purutasun ultra-altuko mailak lortzen ditu, eta, horrela, ezpurutasun metaliko edo arrotzek ez dute obleen prozesamendua kutsatuko. Hau funtsezkoa da punta-puntako erdieroaleen gailuen fabrikaziorako, non errendimenduaren fidagarritasuna eta errendimendua kutsadurak eragin handia duen. Silicon Wafer Boat-ek ingurune ultra-garbia eskaintzen du, garbitasun-maila handikoa, oxidazio- eta murrizketa-prozesatzeko oso tenperatura altuetara jasaten diren obleak manipulatzeko industria-eskakizun aurreratuenetarako egokia.

Beste onura batBeste onura batgogortasun baxuko propietateak dira SiC materialarekin alderatuta. SiC barrak edo itsasontziak gogortasuna eta indarragatik ezagunak dira, baina propietateak zailtasunak sor ditzake obleak prozesatzeko garaian. Tenperatura altuetan, obleak mikro-mugituko dira; apur bat errebotatu, apur bat mugituko dira eta ertza okertuko dute itsasontzi barruan dauden bitartean. SiC material gogorrago batek oblearen atzeko aldean partikulak edo marradurak sortzeko arrisku handiagoak sor ditzake oblearen eta itsasontziaren propietateek tenperatura altuko prozesatzeko baldintza hauetan elkarreragiten duten heinean.

Silicon Wafer Boat-ek kezka hori arintzen du silizioaren izaera nahiko biguna aprobetxatuz, SiC-ri dagokionez. Gogortasunaren murrizketak marruskadura eta tentsio mekaniko gutxiago izatea ahalbidetzen du obleak itsasontziarekin harremanetan jartzen direnean ziklo termikoetan. Ondorioz, partikulak gutxiagotan sortzen dira eta atzealdeko marradurak izateko arriskua ia zerora murrizten da. Gainera, gainazaleko akatsak gutxituz, Silicon Wafer Boat-ek sarearen kalitatea zuzenean hobetzen du eta prozesatutako obleen kualifikazio-tasa orokorra igotzen du. Kalitate-kontrol handienarekin etekinak hobetu nahi dituzten erdieroaleen fabrikatzaileentzat, errendimendu egoera honek siliziozko itsasontzia aukera erakargarria bihurtzen du.

Silizioak egonkortasun ona eta erresistentzia mekanikoa eskaintzen ditu tenperatura altuetan, itsasontziak fidagarritasunez zerbitzatzeko aukera ematen dio labearen ziklo errepikatuetan. Materialak berotze- eta hozte-zikloetan deformazioari eusten dio, eta, beraz, obleak kokatzea eta kokapen-perdoia zehatza mantentzen du labe-ziklo azkarrean ere. Sendotasun termiko honek prozesuko emaitza fidagarriak eskaintzen ditu, bolumen handiko ekoizpenerako nahikoa koherenteak diren exekuzioen arteko aldakuntza minimoarekin. Silicon Wafer Boat dimentsio handiko zehaztasunarekin eraikita dago obleen kokapen eta kokapen koherentea bermatzeko. Itsasontzia mekanizazio eta leunketa aurreratuen bidez fabrikatzen da, gainazal leunak, geometria estua eta tolerantzia estuak sortzeko.