Siliziozko idulkia

Semicorex Silicon Pedestal Boat obleen garraiolari ultra-garbia da, purutasun eta zehaztasun handiz diseinatu dena, tenperatura altuko erdieroaleen prozesuei laguntzeko, hala nola oxidazioa, difusioa eta LPCVD (Presio Beheko Lurrun Kimikoen Deposizioa). Ostia eramaile hau 9N-z egina dago (% 99,9999999).purutasun handiko silizioaaparteko garbitasuna, hedapen-koefiziente termikoa egonkortasuna eta zehaztasun mekanikoa bermatzeko obleen euskarria eta prozesu koherentea kontrolatzeko ingurune ultra-garbietan.

Erdieroaleen gailuen geometriak murrizten jarraitzen duen heinean, obleak manipulatzeko osagai ultra-garbi eta termikoki bateragarriak izateko beharra ez da inoiz halako eskaerarik izan. Silicon Pedestal Boat-ek eskakizun horiei erantzuten die dimentsioko zehaztasun handiarekin eta garbitasun paregabearekin, 1100 °C eta 1250 °C artean funtzionatzen duten labe sistema aurreratuetan erabiltzeko.

Siliziozko itsasontzien egitura pertsonalizatu daiteke bezeroen eskakizunak asetzeko, besteak beste, zirrikitu barraren forma, zirrikituaren hortzaren luzera, forma, okertze-angelua eta obleak kargatzeko ahalmen osoa. Tenperatura handiko siliziozko itsasontziek siliziozko obleen kontaktu-kalteak modu eraginkorrean murrizten dituzte, prozesuaren errendimendua hobetuz. Bere tenperatura altuko "dorre irristagaitzak" diseinuak euskarri-hortzaren puntan bakarrik onartzen ditu obleak. Siliziozko karburoarekin alderatuta, silizioa nahiko gogorra da, eta obleen kalte mekanikoa murrizten du, sarearen kalitatea hobetzen du eta ekoizpen kostuak eraginkortasunez murrizten ditu.

Idulki-ontzia eskuragarri dagosilizio monokristalinoa edo polikristalinoasiliziozkoak ez diren materialei lotutako kutsadura-arriskuak kentzeko. Plataformak aktiboki erabiltzen diren obleen konposizio kimiko bera partekatzen du, eta horrek tenperatura altuko prozesuetan nahi ez diren erreakzioak edo ioien difusioa minimizatzen ditu. Materialaren homogeneitateak partikulen eta ezpurutasun metalikoen identitate fisikoa nabarmen murrizten du obleen kalitate handiko koherentzia lortzeko eta gailuaren etekin handia lortzeko, ekoizpen-ziklo errepikatuen bidez.

Semicorex Silicon Pedestal Boat-ek zehaztasunez diseinatutako obleen zirrikituak ditu, euskarri bertikalaren egiturarekin konbinatuta, obleak berotze-zikloan zehar ezin hobeto lerrokatuta eta tartekatuta mantentzen direla bermatuz. Bere dimentsio-egonkortasuna nabarmena da, pedestal-ontzia muturreko tenperaturetan okertu, okertu edo mugituko ez dela bermatuz, tenperatura eta gas-banaketa ona lortuz ostia bakoitzaren gainean. Dimentsio-egonkortasun honek berehalako eragin positiboa du filmaren lodieraren uniformetasunean oxidazioan eta difusioan eta akatsen kopurua txikiagoa eta prozesuaren errepikakortasun hobea eskaintzen du.

Siliziozko idulki-ontziaren abantaila nagusia propietate mekaniko eta termiko optimizatuak dira. SiC edo kuartzoaren aldean silizioaren gogortasunak mikro-marratuak eta partikulak sortzen lagunduko du obleen bibrazio edo mugimenduaren ondorioz berotutako hedapenean. Hau bereziki egia da atzealdearekiko sentikorrak diren obleietan, non obleen gainazalaren osotasuna funtsezkoa den errendimendurako eta gailuaren errendimendurako.

Idulki-txalupak eroankortasun termiko ona eta hedapen termiko koefiziente baxua ditu, bero-transferentziaren ezaugarriak ematen dituena, forma eta egitura-sendotasuna mantentzen dituena berokuntza- eta hozte-ziklo anitzekin. Diseinu sendoak bizitza luzea eskaintzen du, deformazio minimoarekin, labearen muturreko baldintzetan.

Semicorex-ek hainbat ekipamendu-konfiguraziorako diseinu pertsonalizatuak eskaintzen ditu, obleen diametroa, zirrikitu kopurua, idulkiaren altuera eta geometriaren aldaerak barne. Produktu bakoitza garbitasuna, dimentsioa neurtuta eta eroankortasun termikoa probatzen da, erdieroaleen fabrikazio prozesuan estandarrik altuenak betetzeko.

Silicon Pedestal Boat-a bateragarria da oxidazio- eta difusio-prozesuekin, baita LPCVD-ekin eta errekuntza-aplikazioekin ere, tenperatura-uniformitate eta kutsadura-kontrol paregabea eskatzen duten. Silicon Pedestal Boat-a bateragarria da siliziozko labeko beste osagai batzuekin, hala nola injektore-hodiarekin, forru-hodiarekin eta obleen eramailearekin, materiala eta bat-etortze termikoa mantenduz prozesatzeko sistema osoan.