Aguaforterako Poly-Si Kanpoko Eraztunak

Normalean inguruan kokatuta dagodutxaburua, Poly-Si kanpoko eraztunak ihes-eraztunaren eta dutxa-buruaren arteko lotura-zati gisa jokatzen du. Elkarlanean lan egiten duchuck elektrostatikoa, Si dutxa-burua, Si foku-eraztuna, Si ihes-eraztuna eta Si blindaje-eraztuna, prozesu-ingurune egonkorra eta fidagarria sortuz doitasun handiko grabaketa-eragiketa egiteko.

Semicorex poly-Si kanpoko eraztunen abantailak grabatzeko

Grabatzeko Semicorex poly-Si kanpoko eraztunak kalitate handiko polisilizioz fabrikatuta daude, eta ondoko propietateen errendimendu bikaina eskaintzen dute.

1.Garbitasun handia eta partikula-eduki txikia

2.Tenperatura handiko erresistentzia eta shock termikoen erresistentzia handia

3.Corrosioarekiko erresistentzia fidagarria

4.Errendimendu elektriko bikaina eta eroankortasun elektrikoaren uniformitate handia

Semicorex poly-Si kanpoko eraztunen funtzioak grabatzeko

1. Lurreratze-errendimendu egonkorra

Elektrodoak lurreratzeko eta babesteko erabiltzen dira, grabatzeko Semicorex poly-Si kanpoko eraztunak metaketa estatikoa eta arkuaren kalteak saihesteko gai dira eta elektrodo-sistemaren funtzionamendu egonkorra bermatzeko gai dira, 3D NAND fabrikazio aurreratuaren prozesu-eskakizunei ezin hobeto betez.

2. Laguntza fidagarria

Grabatzeko Semicorex poly-Si kanpoko eraztunek ihes-eraztuna eta dutxa-burua lotzen dituzten funtsezko osagaiak dira. Bi piezei euskarri mekaniko fidagarria ematen diete eta leku egokian finkoki kokatuta mantentzen dituzte. Horrez gain, grabatzeko Semicorex poly-Si kanpoko eraztunak erabiltzeak grabaketa-ganberan plasma higadura saihestu dezake, eta horrela grabaketa-eragiketaren exekuzio egonkorra bermatzen du.

3. Aguaforte-prozesuarekin bateragarritasuna

Grabatzeko Semicorex poly-Si kanpoko eraztunek ezpurutasun-eduki baxua eta korrosioarekiko erresistentzia paregabea dute, siliziozko obleen fabrikazioarekin bateragarritasun bikaina eskaintzen dutenak, grabatutako azpiproduktuen kutsadurak eragindako obleen akatsak asko murrizten dituena eta erdieroaleen ekoizpenean etekin-tasa handia ziurtatzen duena.