8 hazbeteko Epi Top Ring

Zemorxako 8 hazbeteko Epi Top Top Top-ek EPITAXIAL (EPI) gordailu sistemen osagai espezializatua da, erreakzio ganberari buruzko goiko estalkiaren eraztun gisa. Epitariozko hazkunde epitaxialen hazkunde estrukturalaren eta egonkortasun termikoaren ardatzarekin, EPI goiko eraztuna garbitasun handiko grafitoz eta silizio karburoarekin (SIC) estalita dago.

Erreaktore epituxialetan, goiko eraztunak wafer ingurunea mantentzen laguntzen du eta depositu garaian tenperatura uniformetasunean eta gasaren fluxuan funtsezkoa da, susceptor muntaketaren baitan. Grafito substratuaren estaldura SICek EPI goiko eraztuna eskaintzen du Grafitoaren nukleoa babesteko beharrezkoak diren egonkortasun termikoarekin eta ingurune inertearekin, EPI goiko eraztuna (hidrogenoa, klorosilanak, etab.). SIC geruzaren gogortasunak eta eroankortasuna EPI goiko eraztunaren errendimendua hobetzen da degradazioa saihestuz eta ekoizpen zikloan zehar geruza egonkorragoak ahalbidetuz.

Dimentsioaren zehaztasunarekin, estalduraren koherentzia eta errepikagarritasuna, 8 hazbeteko EPI goiko eraztuna zehaztasun ingeniaritzarekin fabrikatzen da. Grafito substratua tolerantzia estuetan mekanizatuta dago eta termikoki garbitu ezpurutasunak segregatzen ditu, substratu garbia garbitasun eta indar bikainarekin hornituz. SIC estaldura lurrun kimikoen gordailuraren bidez (CVD) aplikatzen da, babes geruza trinkoa, koherentzia eta biziko lotura osatzeko. Prozesu honek partikulen sorrera minimizatzen du eta estaldurak erabilera luzatuan gainazalaren osotasuna mantentzeko aukera ematen du.

Erdieroaleen fabrikatzaileek EPI goiko eraztunean oinarritzen dira ganbera parametro kritikoak mantentzeko eta produkzioan akatsik gabeko ogiak babesteko. Konfigurazioa 8 hazbeteko 12 hazbeteko prozesatzeko sistema garrantzitsuekin erabiltzeko diseinatuta dago. Aukera pertsonalizatuak eskuragarri daude lodiera, gainazaleko akabera eta diseinu zorrotzak kudeaketa termiko hobea lortzeko edo baita gas banaketa ere.

Aplikazio honetarako SIC estalitako grafitoaren propietateak bateratzea bi materialetako propietate onenak konbinatzen ditu; Grafitoa oso mekanikoa da eta shock erresistentzia termikoa da, silizio karburoarekin konbinatuta, eta horrek zailagoa, korrosioarekiko erresistentea da eta zerbitzu-bizitza luzeagoa du. Konbinazio honek, azken finean, tenperatura altuan fidagarria den EPI goiko eraztuna ematen dizu eta prozesatzeko ingurune garbia eta egonkorra bermatzen du mantentze-tarteak murrizten dituena, eta ekipamendu hobetutako ekipamendu orokorrak eskaintzen ditu.

Grafitoen osagaiek ezinbesteko eta funtsezko eginkizuna dute erdieroaleen fabrikazioan. Grafito materialaren kalitateak nabarmen eragiten du produktuaren kalitatearen kalitatean. Gure grafito lotearen koherentzia eta materialen homogeneotasuna kontrolatzen dira eta produkzio prozesuan zehar bermatzen dira.

1.Small-Batch produkzioa, karbonizazio labe txiki bat erabiliz 50 metro kubiko baino ez dituzten edukiera du.

2. Material bakoitza kontrolatu eta jarraipena da.

3. Taburetan puntu anitzetan kontrolatzeak tenperatura desberdintasun minimoak bermatzen ditu.

4. Materialeko puntuetan jarraipen jarraipena tenperatura desberdintasunak gutxieneko tenperatura desberdintasunak bermatzen ditu.

8 hazbeteko EPI Top Top de MemiceRex-ek aparteko errendimendua, sorta-lote koherentzia eskaintzen du eta fidagarritasun zailenetan silizioa, silizio karburoa edo bestelako erdieroaleen epitaxia prozesu konposatuak eskaintzen ditu. Fabrikazio urratsean, kalitate kontrolarekin produktuak ekoizten ditugu, eta horrek esan nahi du erdieroaleen industrian erositako produktu guztiek kalitatearen zehaztapenak gainditzen dituztenak.

Hautatu Semicorex-en 8 hazbeteko EPI Top Top zure Epitarxy aplikaziorako, doitasun ingeniaritza, goi mailako materialen eta aplikazioen inguruko pertsonalizazioaren bidez eskaintzen diren aukerak aprobetxatzeko, errendimenduak eta gailuaren errendimendua hobetzeko.