Semicorex-ek hainbat motatako 4H eta 6H SiC obleak eskaintzen ditu. Urte asko daramatzagu obleen fabrikatzaile eta hornitzaile. Gure leundu bikoitzeko 6 hazbeteko N motako SiC obleak prezio abantaila ona du eta Europako eta Amerikako merkatu gehienak estaltzen ditu. Zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu Txinan.
Semicorex-ek silizio-karburoa (SiC) obleen produktuen linea osoa du, 4H eta 6H substratuak barne, N motako, P motako eta purutasun handiko oble erdi isolatzaileak dituztenak, epitaxiarekin edo gabe izan daitezke. Gure 4 hazbeteko N motako SiC (siliziozko karburoa) substratua siliziozko karburozko kristal bakarretik egindako kalitate handiko oblea da, N motako dopingarekin, leundu bikoitza duena.
6 hazbeteko N-motako SiC oblea energia-ibilgailu berrietan, goi-tentsioko transmisioan eta azpiestazioetan, ekipamendu zurietan, abiadura handiko trenetan, motor elektrikoetan, inbertsore fotovoltaikoetan, pultsatuko elikadura-iturrietan eta beste eremu batzuetan erabiltzen da, ekipamenduak murrizteko abantailak dituztenak. energia-galera, ekipoen fidagarritasuna hobetzea, ekipoen tamaina murriztea eta ekipoen errendimendua hobetzea eta abantaila ordezkaezinak ditu potentzia-gailu elektronikoak egiteko.
Elementuak |
Ekoizpena |
Ikerketa |
Dummy |
Kristal Parametroak |
|||
Politipoa |
4H |
||
Gainazalaren orientazio-errorea |
<11-20 >4±0,15° |
||
Parametro elektrikoak |
|||
Dopatzailea |
n motako nitrogenoa |
||
Erresistentzia |
0,015-0,025 ohm·cm |
||
Parametro mekanikoak |
|||
Diametroa |
150,0 ± 0,2 mm |
||
Lodiera |
350±25 μm |
||
Orientazio lau nagusia |
[1-100]±5° |
||
Lehen mailako luzera laua |
47,5±1,5 mm |
||
Bigarren mailako pisua |
Bat ere ez |
||
TTV |
≤5 μm |
≤10 μm |
≤15 μm |
LTV |
≤3 μm (5mm*5mm) |
≤5 μm (5mm*5mm) |
≤10 μm (5mm*5mm) |
Arkua |
-15μm ~ 15μm |
-35μm ~ 35μm |
-45μm ~ 45μm |
Warp |
≤35 μm |
≤45 μm |
≤55 μm |
Aurrealdeko (Si-aurpegia) zimurtasuna (AFM) |
Ra≤0.2nm (5μm*5μm) |
||
Egitura |
|||
Mikrohodiaren dentsitatea |
<1 ea/cm2 |
<10 ea/cm2 |
<15 ea/cm2 |
Metalezko ezpurutasunak |
≤5E10atomo/cm2 |
HORI |
|
BPD |
≤1500 ea/cm2 |
≤3000 ea/cm2 |
HORI |
TSD |
≤500 ea/cm2 |
≤1000 ea/cm2 |
HORI |
Aurrealdeko Kalitatea |
|||
Aurrealdea |
Eta |
||
Gainazaleko akabera |
Si-face CMP |
||
Partikulak |
≤60ea/oblea (tamaina ≥0.3μm) |
HORI |
|
Marradurak |
≤5ea/mm. Luzera metatua ≤Diametroa |
Luzera metatua≤2*Diametroa |
HORI |
Laranja azala/hobiak/orbanak/striadurak/ pitzadurak/kutsadura |
Bat ere ez |
HORI |
|
Ertzaren txirbilak/koskak/hausturak/hexagonaleko plakak |
Bat ere ez |
||
Politipo eremuak |
Bat ere ez |
Azalera metatua≤% 20 |
Azalera metatua≤% 30 |
Aurrealdeko laser markaketa |
Bat ere ez |
||
Itzuli Kalitatea |
|||
Atzeko akabera |
C-aurpegia CMP |
||
Marradurak |
≤5ea/mm, Luzera metatua ≤2*Diametroa |
HORI |
|
Atzeko akatsak (ertzetako txirbilak/koskak) |
Bat ere ez |
||
Bizkarreko zakartasuna |
Ra≤0.2nm (5μm*5μm) |
||
Atzeko laser bidezko markaketa |
1 mm (goiko ertzetik) |
||
Ertza |
|||
Ertza |
Txanflarra |
||
Enbalajea |
|||
Enbalajea |
Epi-prest hutsean ontziratzearekin Ostia anitzeko kaseteen ontziratzea |
||
*Oharrak: "NA" esan nahi du ez dagoela eskaerarik Aipatutako elementuek SEMI-STD-i erreferentzia egin dezakete. |