4 hazbeteko N motako SiC substratua

Semicorex-ek hainbat motatako 4H eta 6H SiC obleak eskaintzen ditu. Urte asko daramatzagu siliziozko karburoko produktuen fabrikatzaile eta hornitzaile. Gure 4 hazbeteko N motako SiC substratuak prezio abantaila ona du eta Europako eta Amerikako merkatu gehienak estaltzen ditu. Zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu Txinan.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

Semicorex-ek silizio-karburoa (SiC) obleen produktuen linea osoa du, 4H eta 6H substratuak barne, N motako, P motako eta purutasun handiko oble erdi isolatzaileak dituztenak, epitaxiarekin edo gabe izan daitezke. 4 hazbeteko N motako SiC (siliziozko karburoa) substratua siliziozko karburozko kristal bakar batez egindako kalitate handiko oblea da, N motako dopingarekin.

4 hazbeteko N-motako SiC substratua energia-ibilgailu berrietan, goi-tentsioko transmisioan eta azpiestazioetan, ekipamendu zurietan, abiadura handiko trenetan, motor elektrikoetan, inbertsore fotovoltaikoetan, pultsatuko elikadura-iturrietan eta beste eremu batzuetan erabiltzen da, ekipamenduak murrizteko abantailak dituztenak. energia-galera, ekipoen fidagarritasuna hobetzea, ekipoen tamaina murriztea eta ekipoen errendimendua hobetzea eta abantaila ordezkaezinak ditu potentzia-gailu elektronikoak egiteko.

Elementuak	Ekoizpena	Ikerketa	Manikoa
Kristal Parametroak
Politipoa	4H
Gainazalaren orientazio errorea	<11-20 >4±0,15°
Parametro elektrikoak
Dopatzailea	n motako nitrogenoa
Erresistentzia	0,015-0,025 ohm·cm
Parametro mekanikoak
Diametroa	99,5 - 100 mm
Lodiera	350±25 μm
Orientazio lau nagusia	[1-100]±5°
Lehen mailako luzera laua	32,5±1,5 mm
Bigarren mailako posizio laua	90° CW lehen lautik ±5°. silizioa ahoz gora
Bigarren mailako luzera laua	18±1,5 mm
TTV	≤5 μm	≤10 μm	≤20 μm
LTV	≤2 μm (5mm*5mm)	≤5 μm (5mm*5mm)	HORI
Arkua	-15μm ~ 15μm	-35μm ~ 35μm	-45μm ~ 45μm
Warp	≤20 μm	≤45 μm	≤50 μm
Aurrealdeko (Si-aurpegia) zimurtasuna (AFM)	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Egitura
Mikrohodiaren dentsitatea	≤1 ea/cm2	≤5 ea/cm2	≤10 ea/cm2
Metalezko ezpurutasunak	≤5E10atomo/cm2		HORI
BPD	≤1500 ea/cm2	≤3000 ea/cm2	HORI
TSD	≤500 ea/cm2	≤1000 ea/cm2	HORI
Aurrealdeko Kalitatea
Aurrealdea	Eta
Gainazaleko akabera	Si-face CMP
Partikulak	≤60ea/oblea (tamaina ≥0,3μm)	HORI
Marradurak	≤2ea/mm. Luzera metatua ≤Diametroa	Luzera metatua≤2*Diametroa	HORI
Laranja azala/hobiak/orbanak/striadurak/ pitzadurak/kutsadura	Bat ere ez		HORI
Ertzaren txirbilak/koskak/hausturak/hexagonaleko plakak	Bat ere ez		HORI
Politipo eremuak	Bat ere ez	Azalera metatua≤% 20	Azalera metatua≤% 30
Aurrealdeko laser bidezko markaketa	Bat ere ez
Itzuli Kalitatea
Atzeko akabera	C-aurpegia CMP
Marradurak	≤5ea/mm, Luzera metatua ≤2*Diametroa	HORI
Atzeko akatsak (ertzetako txirbilak/koskak)	Bat ere ez
Bizkarreko zakartasuna	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Atzeko laser bidezko markaketa	1 mm (goiko ertzetik)
Ertza
Ertza	Txanflarra
Enbalajea
Enbalajea	Barruko poltsa nitrogenoz betetzen da eta kanpoko poltsa xurgatzen da. Ostia anitzeko kasetea, epi-prest.
*Oharrak: "NA" esan nahi du ez dagoela eskaerarik Aipatutako elementuek SEMI-STD-i erreferentzia egin dezakete.