Hurrengo belaunaldiko litografia eta obleak manipulatzeko aplikazioetarako aproposa, Semicorex zeramikazko osagai ultrapuruek kutsadura minimoa bermatzen dute eta bizitza oso luzea eskaintzen dute. Gure Wafer Vacuum Chuck-ek prezio abantaila ona du eta Europako eta Amerikako merkatu asko estaltzen ditu. Zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu Txinan.
Semicorex zeramikazko obleen hutseko zorrotada, purutasun handiko SiC estalita dago, obleak manipulatzeko prozesuan erabiliz. MOCVD ekipamenduaren Oblea Erdieroaleen Hutseko Chuck Hazkunde konposatuak bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia du, eta horrek egonkortasun handia du muturreko ingurunean eta etekinaren kudeaketa hobetzen du erdieroaleen obleak prozesatzeko. Azalera-kontaktu baxuko konfigurazioek atzeko aldean partikulen arriskua minimizatzen dute aplikazio sentikorretarako.
Semicorex-en, kalitate handiko eta errentagarria den Wafer Vacuum Chuck eskaintzera bideratzen gara, bezeroen gogobetetzea lehenesten dugu eta kostu-eraginkorra den irtenbideak eskaintzen ditugu. Zure epe luzerako bazkide izatea espero dugu, kalitate handiko produktuak eta bezeroarentzako arreta bikaina eskainiz.
Wafer Vacuum Chuck-en parametroak
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristalezko Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
Wafer Vacuum Chuck-en ezaugarriak
● Gaitasun ultra-lauak
● Ispilu-leuntzea
● Aparteko pisu arina
● Zurruntasun handia
● Dilatazio termiko txikia
● Φ 300 mm-ko diametroa eta haratago
● Higadura-erresistentzia izugarria