Ostia Ontzia

Semicorex Wafer Boat difusio-labearen baldintza gogorrak jasateko diseinatuta dago, hala nola, tenperatura altuak, ingurune korrosiboak eta difusio prozesuan obleak zehatz jartzeko beharra.

Wafer Boat Siliziozko Karburoko zeramikaz egina dago, bere ezaugarri bereziengatik aukeratua. Silizio karburoa bere eroankortasun termiko handiagatik ezaguna da, difusioan zehar tenperatura banaketa uniformea ​​bermatuz. Uniformetasun hori funtsezkoa da obleen osotasuna mantentzeko eta dopin-maila koherenteak bermatzeko, ezinbestekoak baitira fabrikatzen diren gailu erdieroaleen funtzionaltasunerako. Gainera, Silizio Karburoaren urtze-puntu altuari eta egonkortasun termikoaren ondorioz, Wafer Boat-ek difusio-prozesuetan beharrezkoak diren tenperatura altuetan funtzionatzen du, askotan 1000 °C-tik gorakoak, degradatu edo distortsionatu gabe.

Wafer Boat-en Silizio Karburoko zeramikaren abantail nagusietako bat erresistentzia kimiko bikaina da. Erresistentzia hori bereziki garrantzitsua da erdieroaleen obleen purutasuna mantentzeko, edozein kutsadurak azken produktuan akatsak sor ditzakeelako, zirkuitu integratuen errendimendua arriskuan jarriz.

Wafer Boat-en egitura-osotasuna da bere diseinuan beste faktore kritiko bat. Diseinuak bermatu behar du obleak ongi eusten direla, tarte zehatzekin, gas erreaktiboekiko esposizio berdina izan dadin. Zehaztasun hori ezinbestekoa da olata guztietan doping uniformea ​​lortzeko, eta horrek zuzenean eragiten du gailu erdieroaleen ezaugarri elektrikoetan.

Bere propietate termiko eta kimikoez gain, Silizio Karburoko zeramikak dimentsio-egonkortasun bikaina eskaintzen du, funtsezkoa erdieroaleen fabrikazioaren doitasun handiko eskakizunetarako. Egonkortasun honek obleak ezin hobeto lerrokatuta mantentzen direla bermatzen du, dopanteen hedapen zehatza eta uniformea ​​ahalbidetuz obleen gainazal osoan zehar, kalitate handiko gailu erdieroaleak ekoizteko.

Siliziozko karburoko zeramikaz egindako Semicorex Wafer Boat erdieroaleen difusio-prozesuan funtsezko osagaia da. Bere aparteko eroankortasun termikoa, erresistentzia kimikoa, erresistentzia mekanikoa eta dimentsio-egonkortasuna erdieroaleen fabrikazioaren baldintza zorrotzetarako aproposa da. Bere erabilerak difusio-prozesuaren eraginkortasuna eta fidagarritasuna hobetzeaz gain, erdieroaleen fabrikazioaren kostu-eraginkortasun orokorrean laguntzen du.