Prozesu Erdieroaleetarako Ostia Ontzia

Semicorex-ek obleen ontziak, idulkiak eta obleen eramaile pertsonalizatuak eskaintzen ditu konfigurazio bertikal/zutabe nahiz horizontaletarako. Urte asko daramatzagu siliziozko karburozko estaldura filmaren fabrikatzaile eta hornitzaile. Erdieroaleen Prozesurako Gure Wafer Boat-ek prezio abantaila ona du eta Europako eta Amerikako merkatu gehienak estaltzen ditu. Zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu Txinan.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

Semicorex SiC Wafer Boat Semiconductor Prozesurako, obleak manipulatzeko eta erdieroaleen fabrikazioan babesteko azken irtenbidea. Gure ostia erdieroaleen prozesurako kalitate handiko siliziozko karburoz egina dago, korrosioarekiko erresistentzia ona eta tenperatura altuekiko eta shock termikoarekiko erresistentzia bikaina dutenak. Zeramika aurreratuek erresistentzia termiko eta plasma iraunkortasun bikaina eskaintzen dute, ahalmen handiko obleen eramaileentzako partikulak eta kutsatzaileak arintzen dituzten bitartean.

Wafer Boat-en parametroak erdieroaleen prozesurako

Propietate Teknikoak
Aurkibidea	Unitatea	Balioa
Materialaren izena		Erreakzioa Silizio Karburo Sinterizatua	Presiorik gabeko silizio karburo sinterizatua	Silizio-karburo birkristalizatua
Konposizioa		RBSiC	SSiC	R-SiC
Solteko Dentsitatea	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Flexur Indarra	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Konpresio Indarra	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
Gogortasuna	Botoia	2700	2800	/
Tenacity haustea	MPa m1/2	4.5	4	/
Eroankortasun termikoa	W/m.k	95	120	23
Hedapen Termikoaren Koefizientea	10^-6,1/°C	5	4	4.7
Bero Espezifikoa	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Tenperatura maximoa airean	℃	1200	1500	1600
Modulu elastikoa	Gpa	360	410	240

Wafer Boat-en ezaugarriak erdieroaleen prozesurako

Beroarekiko erresistentzia eta uniformetasun termiko handiagoa
SiC kristal finak estalitako gainazal leun baterako
Iraunkortasun handia garbiketa kimikoen aurka
Materiala pitzadurak eta delaminazioa gerta ez dadin diseinatuta dago.