Ostia-ontzi-garraiatzailea

Semicorex Wafer Boat Carrier grafitoz egina dago, hau da, bere indar-pisu erlazio paregabeagatik eta eroankortasun termikoagatik ezaguna dena. Hala ere, bere iraunkortasuna hobetzeko, ontzi bakoitzak CVD SiC estaldura prozesu bat jasaten du. Estaldura honek itsasontzia prozesatzeko ingurune gogorren aurka sendotzeaz gain, korrosio kimikotik eta kolpe termikoetatik babesten du, iraupena eta fidagarritasuna bermatuz baldintza zorrotzenetan ere.

Wafer Boat Carrier xehetasunei arreta handiz diseinatuta dago. Bere egitura eraginkortasun eta segurtasun handiena lortzeko optimizatuta dago, dimentsio zehatzekin eta arreta handiz diseinatutako geometriekin, erdieroale delikatuen obleen kokapen segurua eta egonkorra bermatzen dutenak prozesatzeko garaian. Horrek kalte edo kutsadura arriskua murrizten du.

Wafer Boat Carrier hainbat aplikaziotara molda daitekeen irtenbide polifazetikoa da. Hazkunde epitaxialean, lurrun-deposizio kimikoan eta erdieroaleen fabrikazio-prozesuetan erabil daiteke. Bere eraikuntza sendoak eta inertetasun kimikoak prozesu-kimika ugarirekin bateragarria egiten du, prozesatzeko ingurune desberdinetan integraziorik gabekoa bermatuz.