Ostia Bertikala

Semicorex Vertical Wafer Boat ostia anitzentzako bereziki diseinatutako eramailea da, prozesatzeko ganberetan espazioaren eraginkortasuna maximizatzen duena. Ostia Bertikal hauek forma angeluzuzena edo zilindrikoa izaten dute normalean, eta itsasontzi bakoitzak zehaztasunez mekanizatutako zirrikituak edo poltsikoak ditu, banakako obleak posizio tentean segurtasunez eusteko. Ostia Bertikaleko Itsasontzia Silizio Karburoz (SiC) eraikita dago eta horrek tenperatura altuen, produktu kimiko korrosiboen eta estres mekanikoarekiko erresistentzia bikaina eskaintzen du, obleak balizko kalteetatik babesteko aproposa izanik.

Erdieroaleen fabrikazioan, obleek prozesu korapilatsu ugari jasaten dituzte, besteak beste, difusioa, RTP eta eremu termikoak. Ostia Bertikalen Itsasontzia ezinbestekoa da prozesu hauek errazteko, obleen eramaile gisa balioz, ekipamendu eta etapa ezberdinen arteko transferentziarik gabe. Bere orientazio bertikalak prozesatzeko ganberen aztarna murrizten du, errendimendua optimizatuz eta obleen sorta handien kudeaketa eraginkorra ahalbidetzen du.

Semicorex Vertical Wafer Boat erdieroaleen prozesamenduaren oinarria da, obleak fabrikazio fase ezberdinetan zehar manipulatzeko eta garraiatzeko irtenbide sendoa eta fidagarria eskaintzen duena. Bere diseinu aurreratuak, SiC-ren aparteko propietateekin batera, puntako gailu erdieroaleen ekoizpenean duen funtsezko eginkizuna azpimarratzen du.