TaC estaldura grafitoa purutasun handiko grafitoko substratu baten gainazala tantalio karburozko geruza fin batekin estaliz sortzen da, Lurrun Kimikoen Deposizio (CVD) prozesu propio baten bidez.
Tantalo karburoa (TaC) tantalioz eta karbonoz osatutako konposatu bat da. Eroankortasun elektriko metalikoa du eta aparteko urtze-puntu altua du, eta bere indarra, gogortasuna eta beroa eta higadura erresistentziagatik ezaguna den zeramikazko material erregogorra da. Tantalo Karburoen urtze-puntuak 3880 °C inguruko gailurra du purutasunaren arabera eta konposatu bitarren artean urtze-puntu handienetako bat du. Horrek alternatiba erakargarria bihurtzen du tenperatura-eskaerek MOCVD eta LPE bezalako prozesu epitaxial konposatuetan erabiltzen diren errendimendu-gaitasunak gainditzen dituztenean.
Semicorex TaC Coating-ren material datuak
Proiektuak |
Parametroak |
Dentsitatea |
14,3 (gm/cm³) |
Emisibotasuna |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Gogortasuna (HK) |
2000 |
Erresistentzia (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Egonkortasun termikoa |
<2500℃ |
Grafitoaren Dimentsio Aldaketa |
-10~-20um (erreferentzia-balioa) |
Estalduraren lodiera |
≥20um balio tipikoa (35um±10um) |
|
|
Aurrekoak balio tipikoak dira |
|
Semicorex TaC estalitako Seal Ring zigilatzeko osagaiei aplikatutako errendimendu abantaila bikainak eskaintzen ditu erdieroaleen fabrikazioaren ingurune zorrotzetan. TaC estaldurak erresistentzia kimikoarekin, muturreko tenperaturarekin eta higadura mekanikoarekin erlazionatutako erronka kritikoei aurre egiten die, prozesu-etekin handiagoak, ekipoen funtzionamendu-denbora handitu eta, azken finean, fabrikazio-kostu txikiagoak ahalbidetuz. Semicorex-en kalitatea kostu-eraginkortasunarekin uztartzen duten errendimendu handiko TaC estalitako zigilu eraztunak fabrikatzen eta hornitzen ari gara.**
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Tantalum Carbide Coated Susceptor osagai kritikoa da, erdieroaleen obleak sortzeko ezinbestekoak diren jalkitze prozesuetan. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide izatea espero dugu*.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Tantalum Carbide Chuck erdieroaleak fabrikatzeko ekipoetan erabiltzen den osagai aurreratu bat da, ezaugarri termiko eta mekaniko bereziengatik ezaguna. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide izatea espero dugu*.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex TaC Coated Ring baldintza zorrotz hauek betetzen dituen osagai kritikoa da. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide izatea espero dugu*.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex TaC estalitako dutxa-burua lurrun kimikoen deposizio-prozesuan parte da, eta errendimendu eta iraupen paregabeak eskaintzen ditu. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide izatea espero dugu*.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex TaC estalitako chuck-ek erdieroaleen fabrikazioaren alorrean aurrerapen garrantzitsua da. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide izatea espero dugu*.
Irakurri gehiagoBidali kontsulta