TaC estaldura grafitoa purutasun handiko grafitoko substratu baten gainazala tantalio karburozko geruza fin batekin estaliz sortzen da, Lurrun Kimikoen Deposizio (CVD) prozesu propio baten bidez.
Tantalo karburoa (TaC) tantalioz eta karbonoz osatutako konposatu bat da. Eroankortasun elektriko metalikoa du eta aparteko urtze-puntu altua du, eta bere indarra, gogortasuna eta beroa eta higadura erresistentziagatik ezaguna den zeramikazko material erregogorra da. Tantalo Karburoen urtze-puntuak 3880 °C inguruko gailurra du purutasunaren arabera eta konposatu bitarren artean urtze-puntu handienetako bat du. Horrek alternatiba erakargarria bihurtzen du tenperatura-eskaerek MOCVD eta LPE bezalako prozesu epitaxial konposatuetan erabiltzen diren errendimendu-gaitasunak gainditzen dituztenean.
Semicorex TaC Coating-ren material datuak
Proiektuak |
Parametroak |
Dentsitatea |
14,3 (gm/cm³) |
Emisibotasuna |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Gogortasuna (HK) |
2000 |
Erresistentzia (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Egonkortasun termikoa |
<2500℃ |
Grafitoaren Dimentsio Aldaketa |
-10~-20um (erreferentzia-balioa) |
Estalduraren lodiera |
≥20um balio tipikoa (35um±10um) |
|
|
Aurrekoak balio tipikoak dira |
|
Semicorex TaC Coated Susceptor (Tantalum Carbide Coated Susceptor) erdieroaleen fabrikazioan eta tenperatura altuko beste aplikazio batzuetan erabiltzen den osagai oso espezializatua da. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Tantalum Carbide Coating Chuck tenperatura altuko eta estres handiko inguruneetan erabiltzeko diseinatutako doitasuneko osagaia da. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex CVD TaC Coating Ring errendimendu handiko osagaia da, higadura erresistentzia, egonkortasun termikoa eta inertetasun kimikoa eskatzen duten aplikazio zorrotzetarako diseinatua. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex TaC Coating Planetary Plate MOCVD sistemetarako bereziki diseinatutako errendimendu handiko osagaia da. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex TaC Coating Upper Halfmoon erdieroaleen fabrikazioan errendimendu handiko prozesu epitaxialetarako diseinatutako osagai espezializatua da. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu.
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Tantalum Carbide Coating Halfmoon Part osagai oso espezializatua da, deposizio epitaxialaren prozesuan erabiltzeko diseinatua. Semicorex-ek kalitatezko produktuak prezio lehiakorretan eskaintzeko konpromisoa hartu du, Txinan zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu.
Irakurri gehiagoBidali kontsulta