Semicorex-ek erdieroaleen kalitateko zeramika eskaintzen du OEM erdi-fabrikazioko tresnetarako eta obleak maneiatzeko osagaietarako, erdieroaleen industrian silizio karburozko geruzetan zentratuta. Urte askotan zehar Silicon Wafer Carrier-en fabrikatzaile eta hornitzaile izan gara. Gure Silicon Wafer Carrier-ek prezio abantaila ona du eta Europako eta Amerikako merkatu gehienak estaltzen ditu. Zure epe luzerako bazkide bihurtzea espero dugu Txinan.
Erdieroaleen deposizio-prozesuek gas aitzindari lurrunkorren, plasma eta tenperatura altuko konbinazio bat erabiltzen dute kalitate handiko film meheak obleetan geruzatzeko. Deposizio-ganberek eta obleak maneiatzeko tresnek zeramikazko osagai iraunkorrak behar dituzte ingurune zail hauei aurre egiteko.
Semicorex Silicon Wafer Carrier purutasun handiko silizio karburoa da, korrosioarekiko eta beroarekiko erresistentzia handiko propietateak eta eroankortasun termiko bikaina duena.
Silicon Wafer Carrier-en parametroak
Propietate Teknikoak |
||||
Aurkibidea |
Unitatea |
Balioa |
||
Materialaren izena |
Erreakzioa Silizio Karburo Sinterizatua |
Presiorik gabeko silizio karburo sinterizatua |
Silizio-karburo birkristalizatua |
|
Konposizioa |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Solteko Dentsitatea |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Flexur Indarra |
MPa (kpsi) |
338 (49) |
380 (55) |
80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C) |
Konpresio Indarra |
MPa (kpsi) |
1120 (158) |
3970 (560) |
> 600 |
Gogortasuna |
Botoia |
2700 |
2800 |
/ |
Tenacity haustea |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Eroankortasun termikoa |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Hedapen Termikoaren Koefizientea |
10-6,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Bero Espezifikoa |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Tenperatura maximoa airean |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Modulu elastikoa |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
SSiC eta RBSiC arteko aldea:
1. Sinterizazio prozesua ezberdina da. RBSiC Si askea silizio karburoan tenperatura baxuan infiltratzea da, SSiC 2100 graduko uzkurtze naturalaren bidez eratzen da.
2. SSiC-ek gainazal leunagoa, dentsitate handiagoa eta indar handiagoa dute, gainazaleko eskakizun zorrotzagoak dituzten zigilatzeko, SSiC hobea izango da.
3. Erabilitako denbora desberdina PH eta tenperatura desberdinetan, SSiC RBSiC baino luzeagoa da
Silicon Wafer Carrier-en ezaugarriak
Garbitasun handiko SiC estalitako grafitoa
Beroarekiko erresistentzia eta uniformetasun termiko handiagoa
SiC kristal finak estalitako gainazal leun baterako
Iraunkortasun handia garbiketa kimikoen aurka
Materiala pitzadurak eta delaminazioa gerta ez dadin diseinatuta dago.
Silizio karburo zeramikazko forma eskuragarriak:
● Zeramikazko hagaxka / zeramikazko pin / zeramikazko bultoia
● Zeramikazko hodia / zeramikazko buxa / zeramikazko mahuka
● Zeramikazko eraztuna / zeramikazko garbigailua / zeramikazko tartea
● Zeramikazko diskoa
● Zeramikazko plaka / zeramikazko blokea
● Zeramikazko pilota
● Zeramikazko pistoia
● Zeramikazko pita
● Zeramikazko arragoa
● Zeramikazko beste pieza pertsonalizatuak