Semicorex Silizio-karburoarekin estalitako grafitozko barrila aukera ezin hobea da bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia behar duten erdieroaleen fabrikazio aplikazioetarako. Bere eroankortasun termikoaren eta beroaren banaketaren propietate apartak LPE prozesuetan eta tenperatura altuko beste ingurune batzuetan erabiltzeko aproposa da.
Erdieroaleen fabrikazioari dagokionez, Semicorex siliziozko karburoarekin estalitako grafito upela da errendimendu eta fidagarritasun bikaina lortzeko. Bere kalitate handiko SiC estaldurak eta dentsitate eta eroankortasun termiko handiagoak beroaren banaketa eta babes handiagoa eskaintzen dute tenperatura altuko eta korrosiboen ingurune zailenetan ere.
Gure siliziozko karburoz estalitako grafito upelak profil termiko berdina bermatzen du, gas-fluxu laminarraren eredu onena bermatuz. Kutsadurak edo ezpurutasunak oblean zabaltzea ekiditen du, gela garbiko inguruneetan erabiltzeko aproposa da. Semicorex Txinan SiC Coated Graphite Susceptor fabrikatzaile eta hornitzaile handi bat da, eta gure produktuek prezio abantaila ona dute. Erdieroaleen industrian epe luzerako bazkide izatea espero dugu.
Silizio-karburoz estalitako grafito-bidoiaren parametroak
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristalezko Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
Siliziozko karburoz estalitako grafitozko upelaren ezaugarriak
- Grafitozko substratuak eta siliziozko karburozko geruzak dentsitate ona dute eta babes funtzio ona izan dezakete tenperatura altuetan eta lan-ingurune korrosiboetan.
- Kristal bakarreko hazkuntzarako erabiltzen den silizio karburozko suszeptoreak gainazaleko lautasun oso handia du.
- Murriztu hedapen termikoaren koefizientearen aldea grafitoaren substratuaren eta siliziozko karburoaren geruzaren artean, eraginkortasunez hobetu lotura indarra pitzadura eta delaminazioa saihesteko.
- Bai grafitozko substratuak bai siliziozko karburozko geruzak eroankortasun termiko handia dute eta beroa banatzeko propietate bikainak dituzte.
- Urtze-puntu altua, tenperatura altuko oxidazio erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia.