Semicorex-en SiC-Coated Susceptor Barrel LPE erreaktorearen ganberarako soluzio oso fidagarria da erdieroaleen fabrikazio prozesuetarako, bero banaketa eta eroankortasun termikoaren propietate bikainak dituena. Gainera, oso erresistentea da korrosioarekiko, oxidazioarekiko eta tenperatura altuekiko.
Semicorex-en SiC estalitako Susceptor Barrel LPE erreaktore ganberarako kalitate handiko produktua da, zehaztasun eta iraunkortasun estandar handienekin fabrikatua. Eroankortasun termiko bikaina, korrosioarekiko erresistentzia eta erdieroaleen fabrikazioko LPE aplikazioetarako oso egokia da.
Gure SiC estalitako Susceptor Barril LPE erreaktorearen ganberarako diseinatuta dago gas-fluxu laminarraren eredu onena lortzeko, profil termikoaren berdintasuna bermatuz. Horrek kutsadura edo ezpurutasunen hedapena saihesten laguntzen du, obleen txiparen kalitate handiko hazkunde epitaxiala bermatuz.
Jar zaitez gurekin harremanetan gaur LPE erreaktorearen ganberarako SiC estalitako susceptor-upelari buruz gehiago jakiteko.
LPE erreaktorearen ganberarako SiC estalitako Susceptor Barrelaren parametroak
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristal Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gaztearen modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300â) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
SiC estalitako Susceptor Barrilaren ezaugarriak LPE erreaktorearen ganberarako
- Grafitozko substratuak eta siliziozko karburozko geruzak dentsitate ona dute eta babes funtzio ona izan dezakete tenperatura altuetan eta lan-ingurune korrosiboetan.
- Kristal bakarreko hazkuntzarako erabiltzen den silizio karburozko suszeptoreak gainazaleko lautasun oso handia du.
- Murriztu hedapen termikoaren koefizientearen aldea grafitoaren substratuaren eta siliziozko karburoaren geruzaren artean, eraginkortasunez hobetu lotura indarra pitzadura eta delaminazioa saihesteko.
- Bai grafitozko substratuak bai siliziozko karburozko geruzak eroankortasun termiko handia dute eta beroa banatzeko propietate bikainak dituzte.
- Urtze-puntu altua, tenperatura altuko oxidazio erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia.