Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor purutasun handiko SiCz estalitako kalitate handiko grafito produktua da, LPE prozesuetarako bereziki diseinatua. Bero eta korrosioarekiko erresistentzia bikainarekin, produktu hau ezin hobea da erdieroaleen fabrikazio aplikazioetan erabiltzeko.
Erdieroaleen obleetan geruza epitaxiala eratzeko errendimendu handiko grafitoaren susceptor baten bila bazabiltza, Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor aukera bikaina da. Bere siliziozko karburozko estaldurak beroaren banaketa eta eroankortasun termikoa eskaintzen ditu, tenperatura altuko ingurune zorrotzenetan ere errendimendu bikaina bermatuz.
Semicorex-en, kalitate handiko eta kostu-eraginkorra den karburoz estalitako erreaktore-upel suszeptorea eskaintzera bideratzen gara, bezeroen gogobetetasuna lehenesten dugu eta irtenbide errentagarriak eskaintzen ditugu. Zure epe luzerako bazkide izatea espero dugu, kalitate handiko produktuak eta bezeroarentzako arreta bikaina eskainiz.
Karburoz estalitako erreaktorearen barril susceptoraren parametroak
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak |
||
SiC-CVD propietateak |
||
Kristalezko Egitura |
FCC β fasea |
|
Dentsitatea |
g/cm³ |
3.21 |
Gogortasuna |
Vickers gogortasuna |
2500 |
alearen tamaina |
μm |
2~10 |
Garbitasun kimikoa |
% |
99.99995 |
Bero Ahalmena |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimazio-tenperatura |
℃ |
2700 |
Indar felesural |
MPa (RT 4 puntu) |
415 |
Gazteen Modulua |
Gpa (4 puntuko bihurgunea, 1300 ℃) |
430 |
Hedapen termikoa (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Eroankortasun termikoa |
(W/mK) |
300 |
Karburoz estalitako erreaktorearen barril susceptoraren ezaugarriak
- Grafitozko substratuak eta siliziozko karburozko geruzak dentsitate ona dute eta babes funtzio ona izan dezakete tenperatura altuetan eta lan-ingurune korrosiboetan.
- Kristal bakarreko hazkuntzarako erabiltzen den silizio karburozko suszeptoreak gainazaleko lautasun oso handia du.
- Murriztu hedapen termikoaren koefizientearen aldea grafitoaren substratuaren eta siliziozko karburoaren geruzaren artean, eraginkortasunez hobetu lotura indarra pitzadura eta delaminazioa saihesteko.
- Bai grafitozko substratuak bai siliziozko karburozko geruzak eroankortasun termiko handia dute eta beroa banatzeko propietate bikainak dituzte.
- Urtze-puntu altua, tenperatura altuko oxidazio erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia.