Semicorex siliziozko karburozko zorroak fotolitografia ekipoetarako bereziki diseinatuta daude eta abantaila ugari dituzte, hala nola, doitasun handia, pisu ultra-arina, zurruntasun handia, hedapen termiko koefiziente baxua eta higadura erresistentzia bikaina.
Semicorexsiliziozko karburozko zorroakz egindako adsortzio-gailu funtzionalak dirasilizio karburoa(SiC) zeramikazko materiala. Batez ere erdieroaleetan, fotovoltaikoetan, doitasunezko fabrikazioan eta tenperatura altuko erresistentziarako, higadurarako erresistentziarako, korrosio kimikorako erresistentziarako eta materialen garbitasunerako baldintza oso handiak dituzten beste eszenatoki batzuetan erabiltzen dira.
SiC zeramikazko materialak tenperatura altuko erresistentzia du eta egitura-egonkortasuna mantentzen du tenperatura altuko inguruneetan. Bere eroankortasun termiko bikainari esker, xurgatzean sortutako beroa azkar xahutzen du, piezaren gehiegi berotzea saihestuz. Materialaren aparteko gogortasunari esker, pieza zakarrak edo gogorrak harrapatzeko egokia da. Gainera, SiC zeramikazko materialaren inertetasun kimikoak azido indartsuen, alkali sendoen eta disolbatzaile organikoen korrosioarekiko erresistentea egiten du. Material honen ezpurutasun gutxiko prezipitazio errendimenduak ezpurutasunen kutsadura saihesten du eta ekipamenduaren funtzionamendu normala luzatzen du, erdieroaleen industriaren baldintza ultra-garbiak betez.
Semicorex silizio-karburozko zorroen ezaugarri tipikoak
1.Zehaztasun handikoa: lautasuna 0,3-0,5μm da.
2.Ispilu leuntzea
3.Pisu ultra arina
4.Zurruntasun handia
5.Dilatazio termiko koefiziente baxua
6.Higaduraren erresistentzia bikaina
Silizio-karburoko chucksen agertokiak aplikazioa
Erdieroaleen fabrikazioa
Oblea transferitzea eta prozesatzea: fotolitografia eta grabatua bezalako prozesuetan, oblea modu egonkorrean xurgatu behar da huts-ingurunean, desplazamendu-akatsak saihesteko.
Plasmako korrosioarekiko erresistentzia: erdieroaleen grabaketa prozesuan, korrosioarekiko erresistentzia bikainak produktuaren bizitza luza dezake.
Zelula fotovoltaikoen ekoizpena
Siliziozko obleen ebaketa: siliziozko obleak xurgatzen ditu ebaketa-bibrazioari aurre egiteko eta siliziozko obleen zatiketa-tasa murrizteko.
Doitasunezko optika eta elektronikaren fabrikazioa
Zafiro-substratuaren prozesatzea: LED txiparen fabrikazioan erabiltzen diren zafiro-substratuek hutsean adsortzioa behar dute. Adsortzio-indarrak substratuaren pisua gainditu behar du eta produktuaren gainazala urratu behar du.
Silizio-karburozko zorroak goi-mailako fabrikazio-esparruan funtsezko kontsumigarri bihurtu dira, beren errendimendu bikainagatik, aurrerapen teknologikoa sustatuz erdieroaleen, fotovoltaikoen eta doitasuneko fabrikazioa bezalako industrietan.