AL2O3 hutsezko txingak

Zemor-hutsezko hutsezko chuckak zehaztasunezko zeramikazko osagaiak dira, erdieroaleen industrian garatutako wafer manipulazioa, finkapena eta prozesatzeko aplikazioak. Alumina beltzarekin egina% 35eko porositate kontrolatua% 35 -40%, oso egonkorra, garbia eta fidagarria da hutsezko adsorzio prozesuetarako. Chuck-ek substratuaren zeramikaren tratamendua gainazal funtzional batera uztartzen du fabrikazio aurreratuen teknikak erabiliz, erabiltzailearen xafla hauskorraren xurgagailuaren errendimendua koherentea eskaintzeko prozesu kritikoko pausoetan.

BeltzAlumina (aloka)Ikaina; Metalekin eta polimeroekin alderatuta indar, gogortasun eta erresistentzia kimikoen oreka paregabea du. Egitura mikroporioa optimizatuta dago porositate kontrolatzeko, hutsezko banaketa koherentea emateko hutsezko xaflaren gainazalean. Chuck-eko azalera osoan zehar egindako banaketa koherentea, estres kontzentrazio lokalizatuak minimizatzen ditu, wafer distortsioaren, ertzaren ertzaren eta haustura izateko arriskua mugatuz. Wafer fabrikazioak diametroa eskalatzen jarraitzen duen heinean, eta geometriak eta gailuak hauskorragoak bihurtzen dira, prozesuaren etekina eta obra hobetutako fidagarritasuna baldintza kritiko bihurtzen dira.

% 35-40ko kontrolatutako porositateak hutsezko chuck honen ezaugarri funtsezkoa da. Optimizatutako poro sare batek turbulentzia minimizatu dezake airearen ebakuazioan zehar poro eremutik, eta eutsi indar mekanikoa mantentzen duen bitartean, indar mekanikoa eta iraunkortasuna mantentzen dituen bitartean. Aldiz, euskarri mekanikoek lokalizazio-puntuak eragiten dituzten plakak erabiltzen dituzte eta obra banakako propietate mekanikoen aurka lan egiten dute. Alumina-azalera mikroporioa, beraz, goi mailakoak dira, ikuspegi mekanikoetan, ogitartekoak lauak eta inkongruentziaz edukitzea. Horrek hautagai ezin hobea da teknologia handiko erdieroale prozesuetarako, wafer lautasuna eta leuna eustea, litografia, grabaketa, deposizioa eta metrologia barne.

Ikuspegi termiko batetik, alumina beltz materialak tenperatura altuan dimentsio egonkortasuna mantentzeko gaitasun bikaina du. Hedapen termikoaren koefiziente txikiarekin, hutsezko chuck bat zehatza da, berotzeko eta hozteko zikloetan zehar, eta hori da, maiz gertatzen diren tenperatura gorabehera azkarra dela eta. Zeramikaren gogortasun eta higaduraren erresistentziak ere Chuck-en iraupena areagotzen du, ekipoen operadoreentzako mantentze maiztasuna murriztuz eta jabetzaren kostua murriztuz.

Alumina zeramikaren inertasun kimikoa beste jabetza garrantzitsu bat da. Erdieroaleen fabrikatan, ekipoen osagaiek produktu kimiko oldarkorrak, garbiketa eragileak edo plasma inguruneak jasan behar dituzte. Alumina beltzak propietate bikainak ditu korrosioari, oxidazioari eta / edo gainazaleko kutsadurari aurre egiteko, eta, beraz, egitura eta egiturazko / egiturazko egonkortasuna mantentzen ditu ebakuntza-zikloetan. Jabetza honek ere esan nahi du, ogiak ez direla kutsadura jasaten, gailu horiek nola egiten duten zirkuitua babesten dutenak, eta garbitzeko protokoloak ere fidatzen ditu.

AL₂O₃ hutsezko chucks-ek errendimendu funtzional bikaina erakusten du, gainazalaren akabera ere kontrolatuta dago. Akabera zehaztasun handiko mekanizazio eta leuntzeko prozesuak erabiliz sortzen da, lautada uniformea ​​eta leuntasuna lortzen dutenak, argiak delikatuak edo gainazaleko kalteak izan daitezke. Materialaren porositate osoak xurgapenaren eta gainazalen babesen arteko oreka egokia ematen du, obturazio egokia ahalbidetuz.

Ikuspegi operatibo batetik, alboetako hutsezko chucks osagai kritikoak dira erdieroaleen fabrikazio garaikidean. Automatizazioa errazten du, ogiak jasotzea, kokatu, lerrokatu, lerrokatu eta prozesatu, prozesuaren baldintzak asetzeko modu fidagarrian. Aluminaren kolore beltzak ere laguntzen du eta abantaila pragmatikoak eskaintzen ditu ikuskapen optikoetan eta neurketa prozesuetan argi eta garbi hausnarketa murriztuz, batez ere zehaztasun handiko ekipamendu optikoa erabiltzen den tokian.

Zeramikazko teknologia aurreratuak ondo kontsideratutako diseinuarekin konbinatuz, alboetako hutsean, iraupen luzeko eta errendimendu handiko irtenbide bat da, erdieroaleen fabrikatzaileen erronkak egiteko. Alboo hutsezko chucksek produktibitatea hobetzen du gehiegizko galeraren bidez, iraunkortasunagatik, eta prozesuaren egonkortasuna hobetzen du hutsezko hustubide koherentea lortuz.

Mikromoroetako beltzez egindako hutsezko hutsezko hutseanargiaparatu bat baino gehiago da; Zehaztasunen erdieroaleen fabrikazioaren ahalmen kritikoa da. Bere porositate optimizatuarekin, aparteko materialen propietateak eta errendimendu sendoarekin, obrazio prozesu zorrotzenen artean maneiatzea bermatzen du. Etekin handiagoa lortu nahi duten fabrikatzaileentzat, prozesuen eraginkortasun hobetua eta ekipamenduaren errendimendua lortzeko, alumina hutsaren hutsezko beltza ezinbesteko aukera da.