Alumina erdi porotsua Chucks-ek alumina beltz beltzaren hutsean% 35-40 porositatez, erdieroaleen fabrikazioan manipulazio uniformea eta wafer manipulazio segurua emateko diseinatua. Semikorxak aukeratzeak zeramikazko ingeniaritza fidagarria, kalitate handiko kalitatea eta errendimendu koherentea babesten dituena eta prozesuaren egonkortasuna babesten ditu. *
Alumina porotsu porotsua Chucks xedea da, xafla delikatuenetarako. Haien diseinu porotsuak Chuck gainazalean egindako hutsezko banaketa koherentea bermatzen du. Lokalizatutako estresa murriztua bermatzen du eta ertz-txipa eta haustura prebenitzeko laguntzak ziurtatzen ditu. Zintzilikatze mekanikoa (solidoa edo bestela) ez da eraginkorra den sare mikroporosoak bezain eraginkorrak, estres mekanikoa mugatu gabe. Chuck gainazal osoan zehar adsorzio uniformearen beharra oso garrantzitsua da manipulazio automatizatuan eta zehaztasun handiko prozesatzeko urratsak egiten dituzten bitartean.
% 35-40 porositatean optimizatuta, Chuck-ek airea ebakuatzeko balio duten poroen arteko sarea garatzen du, nahia mekaniko nahikoa eskaintzen duen bitartean, prozesuaren indarren aurka egiteko. Horrek esan nahi du hutsezko indarrak egonkorrak izaten jarraitzen duela ogiak mugituz, nahiz eta segida azkarrean, prozesu sekuentzia konplexua egiten duen bitartean. Sare mikroporoso baten barruan adsortzioak egonkortasun handiagoa eskaintzen du hutsean presioaren desberdintasunak sortzea baino.
Alumina beltza (aloka), bera da azken materiala gogorra, higadura erresistentea eta kimikoki inertea delako. Ez du gainazal estimagarririk degradatuko eta ez da gehiegizko ziklo errepikatuaren bidez (kokapen / hutsean adsortzioa / hoztea). BeltzaargiDimentsio egonkorra da eta, beraz, ez da aldatuko prozesuan zehar (berogailua eta hoztea) edo ingurumenean modu naturalean gertatzen diren tenperatura aldaketak izan arren.
Erresistentzia kimikoa alumina beltzaren beste abantaila da. Chuck-ek garbiketa, plasma eta grabazio inguruneetan funtziona dezake bere egiturazko osotasuna arriskuan jarri gabe. Bere inertutasunak wafer gainazala kutsatzea ekiditen du, prozesuaren garbitasuna eta garbiketa estandarrei atxikitzea bermatuz.
Egitura mikroporosoak gainazal solidarioa ere eskaintzen du, estresaren kontzentrazioa arbolari mehe eta hauskorretan arintzen duena. Gainazaleko lautada zehatza eta gainazal leuna duen tandemean, alumina poroteen txingarrek minak gutxituko dituzte mikro-pitzadurak eta marradurak okertuko dituztenak.
Alumina zeramikagogortasun bikaina, indar mekaniko handia, hedapen-koefiziente termiko baxua eta egonkortasun termiko bikaina ditu, doitasun-erdieroaleen aplikaziorako material praktikoa bihurtuz. Halaber, bere intetzerki kimikoek, azidoei eta plasmak jasan dezaketenak esan nahi du, eta higadurarekiko erresistentziaren propietateak iraunkortasuna bermatzen du, abantaila horiek alumina aukeraketa egiten dute hutsezko mikroporosoak egiteko eta errendimenduaren fidagarritasuna eta errendimenduaren fidagarritasuna eskaintzen dute.
Ondorioz, alumina poro chucks wafer manipulazio uniformea eta biziraupena hornitzeko diseinatuta daude. Aluminaren egitura beltz mikroproporoak hutsezko adsortzioa (uniformetasuna) eskaintzen du estres mekanikoa eta obraren kalteak murriztea. Chuck gisa, porositate nabarmen eta optimoak propietate termiko, mekaniko eta kimiko bikainekin batera, obrazio baldintza gogorretan obrazio-segurtasuna, balioa eta fidagarritasuna optimizatzen laguntzen du. Alumina porotsuak fabrikatzaileei fabrikatzaileei eskain diezaieketela manipulazio sendoa, uniformea eta segurua, konbinazio bikaina.