Siliziozko Karburo Zeramikazko Wafer Ontziak

Premium material aukeraketa

Semicorex silizio karburo zeramikaren propietate bikainakostia-ontziakkalitate handiko lehengaiei egozten zaizkie. Erdieroale-mailako SiSiC materialarekin eginak eta CVD SiC estaldura batekin estalita, Silizio karburozko zeramikazko obleek ezaugarri bikainak dituzte.

1.Ultra-garbitasun handikoa, metalezko ezpurutasun askapenik gabe

Substratuaren ezpurutasuna: <100 ppm

CVD SiC estalduraren ezpurutasuna: <1 ppm

2.Egonkortasun termiko handia

Silizio karburozko zeramikazko obleak 1250 ℃ tenperatura altuko baldintzetan etengabe egiteko gai dira, deformazio minimoa eta erresistentzia erresistentea emanez.

3.Erresistentzia mekaniko handia

Silizio karburoagogortasun eta higadura-erresistentzia handia du, Semicorex silizio karburo zeramikazko obleiek marradura, urradura eta kalteei aurre egiteko aukera ematen die, horrela epe luzeko funtzionamenduetan ondo funtzionatzen dute eta kalteak jasan ditzakete.

4.Corrosioarekiko erresistentzia paregabea

Silizio karburoa azido eta alkali indartsuen korrosioarekiko erresistentea denez,  Semicorex silizio karburo zeramikazko obleek egitura-osotasuna eta errendimendu funtzionala mantendu ditzakete lan-baldintza oso korrosiboetan ere.

Egitura-diseinu optimizatua

Semicorex silizio karburoko zeramikazko obleen ontziak lotekako obleak prozesatzeko diseinatuta daude, beren egitura-esparru optimizatuak batch obleen euskarri egonkorra eta prozesuko egonkortasun koherentea bermatzen ditu oblea bakoitzarentzat.

1,3 zutoin euskarri-egitura bertikala

Semicorex silizio karburoko zeramikazko obleen ontzien egitura bertikalak labe bertikaleko aplikazioak ezin hobeto lotzeko aukera ematen du. Egitura honekin,  emicorex silizio karburozko zeramikazko obleek prozesuko gasen zirkulazio homogeneoa eta energia termikoaren banaketa uniformea ​​erraztu dezakete tenperatura altuko labean.

2.Uniformeki banatutako zirrikituak

Semicorex silizio-karburoko zeramikazko oblea-ontziek zehaztasun handiz mekanizatutako zirrikitu anitzekin hornituta daude euskarri-zutoinetan. Beraien zirrikituen tarte uniformeek zirrikitu-tarte egokia lortzen dute, eta horri esker, silizio-karburoko zeramikazko obleak erdieroaleen obleak irmo ziurtatzen dituzte, eta, horrela, obleen prozesatze termikoaren emaitzen koherentzia hobetzen laguntzen dute.

Hainbeste errendimendu eta funtzio bikainekin, Semicorex silizio karburoko zeramikazko obleak oso erabiliak dira erdieroaleen obleen fabrikazioko oinarrizko prozesuetan, hala nola oxidazioan, difusioan, ioien inplantazioan eta tenperatura altuko erretiluan.