Semicorex zure bikotea da erdieroaleen prozesamenduan hobetzeko. Gure siliziozko karburozko estaldura trinkoak, tenperatura altuak eta kimikoekiko erresistenteak dira, erdieroaleen fabrikazio ziklo osoan erabili ohi direnak, erdieroaleen obleak eta obleak prozesatzeko eta erdieroaleen fabrikazioa barne.
Garbitasun handiko SiC zeramikazko osagaiak funtsezkoak dira erdieroaleko prozesuetan. Gure eskaintza obleak prozesatzeko ekipoetarako kontsumigarrien piezak dira, hala nola, siliziozko karburoko obleak, palan cantilever, hodiak, etab. Epitaxirako edo MOCVDrako.
Prozesu erdieroaleetarako abantailak
Film meheen deposizio-faseek, esate baterako, epitaxia edo MOCVD, edo obleen manipulazio-prozesamenduak, esaterako, grabatua edo ioi-inplantea, tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan behar dituzte. Semicorex-ek purutasun handiko silizio karburoa (SiC) eraikuntzak beroarekiko erresistentzia handiagoa eta erresistentzia kimiko iraunkorra eskaintzen ditu, baita uniformetasun termikoa ere epi geruzaren lodiera eta erresistentzia koherentea izateko.
Ganberaren estalkiak →
Kristalen hazkuntzan eta obleak manipulatzeko prozesatzeko erabiltzen diren ganberen tapaek tenperatura altuak eta garbiketa kimiko gogorrak jasan behar dituzte.
Cantilever Pala →
Cantilever Paddle erdieroaleen fabrikazio prozesuetan erabiltzen den osagai erabakigarria da, batez ere difusio edo LPCVD labeetan difusioa eta RTP bezalako prozesuetan.
Prozesu-hodia →
Prozesuaren hodia osagai erabakigarria da, erdieroaleen prozesatzeko hainbat aplikaziotan bereziki diseinatua, hala nola RTP, difusioa.
Ostia ontziak →
Wafer Boat erdieroaleen prozesamenduan erabiltzen da, arreta handiz diseinatu da ostia delikatuak ekoizpenaren fase kritikoetan seguru mantentzen direla ziurtatzeko.
Sarrerako eraztunak →
MOCVD ekipamenduak SiC estalitako gasaren sarrerako eraztunak Hazkunde konposatuak bero eta korrosioarekiko erresistentzia handia du, eta egonkortasun handia du muturreko ingurunean.
Foku eraztuna →
Semicorex-ek siliziozko karburo estalitako foku-eraztuna hornitzen du oso egonkorra da RTA, RTP edo garbiketa kimiko gogorra egiteko.
Ostia Chuck →
Semicorex-eko zeramikazko hutseko obleen zorroak purutasun handiko SiC estalitako obleak manipulatzeko prozesuan erabiltzen dira.
Semicorex-ek zeramikazko produktuak ere baditu Alumina (Al2O3), Silizio Nitruroa (Si3N4), Aluminio Nitruroa (AIN), Zirkonia (ZrO2), Zeramika Konposatua, etab.
Semicorex Aluminio Nitrurozko Eraztunak ezinbesteko osagaiak dira erdieroaleen fabrikazio aurreratuan, batez ere maiztasun handiko tratamendu termikoko prozesuetan. Tenperatura altuko egonkortasuna, zigilatzeko propietate bikainak, eroankortasun termiko paregabea eta berezko iraunkortasunaren konbinazio bereziak ezinbestekoak egiten ditu erdieroaleen fabrikazioaren ingurune zorrotzean prozesuen kontrol zehatza, gailuen errendimendu handiak eta ekipoen bizitza luzea bermatzeko. Semicorex-en kalitatea kostu-eraginkortasunarekin uztartzen duten errendimendu handiko aluminiozko nitrurozko eraztun isolatzaileak fabrikatzen eta hornitzen ari gara.**
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Aluminio Nitrurozko Chucks elektrostatikoak propietate konbinazio erakargarriak eskaintzen ditu, erdieroaleen obleen prozesamenduaren eskakizun zorrotzetarako aproposa da. Obleen atxikitze seguru eta uniformea, kudeaketa termiko bikaina eta prozesatzeko ingurune gogorrei aurre egiteko duten gaitasuna gailuen errendimendua hobetzen, etekin handiagoak eta fabrikazio kostuak murrizten ditu. Semicorex-en garatzen gara kalitatea kostu-eraginkortasunarekin uztartzen duten errendimendu handiko aluminiozko nitrurozko Chucks elektrostatikoak fabrikatzen eta hornitzen.**
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC Wafer Inspection Chuck-ek erdieroaleen fabrikazio aurreratuetarako gaitzaile kritikoak dira, zehaztasun, garbitasun eta errendimendu eskaerei aurre egiteko. Beraien materialen propietate gorenek onura ukigarriak eragiten dituzte obleak fabrikatzeko prozesu osoan, azken finean, etekin handiagoak, gailuen errendimendua hobetzen eta fabrikazio kostu orokorrak murrizten laguntzen dute. Semicorex-en kalitatea kostu-eraginkortasuna eta kostu-eraginkortasuna uztartzen dituzten errendimendu handiko SiC Wafer Inspection Chucks fabrikatzen eta hornitzen ari gara.**
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex Alumina Zeramikazko Beso Robotikoa, zeramikazko beso robotiko zeramikazko manipulatzeko obleak edo siliziozko obleak manipulatzeko sardexka gisa ere ezaguna, errendimendu handiko erdieroaleen ekipamenduaren osagaia da. Bere diseinuak erdieroaleen fabrikazioaren eskakizun zorrotzak hartzen ditu kontuan. Tenperatura handiko erresistentzia, higadura erresistentzia, egonkortasun kimikoa eta isolamendu elektrikoaren propietate bikainekin, alumina zeramikazko besoak ordezkaezina du erdieroaleen fabrikazio industrian. Semicorex-en kalitatea kostu-eraginkortasunarekin uztartzen duten errendimendu handiko alumina zeramikazko beso robotikoa fabrikatzen eta hornitzen ari gara.**
Irakurri gehiagoBidali kontsultaSemicorex SiC Difusio Labearen Hodiaren materialaren propietate aurreratuek, malgutasun-erresistentzia handia, oxidazio- eta korrosioarekiko erresistentzia bikaina, higadura-erresistentzia handia, marruskadura-koefiziente baxua, tenperatura altuko propietate mekanikoak eta purutasun ultra-altuak barne, ezinbesteko bihurtzen dute erdieroaleen industrian. , bereziki difusio-labeen aplikazioetarako. Semicorex-en kalitatea kostu-eraginkortasunarekin uztartzen duten errendimendu handiko SiC difusio-labe-hodiak fabrikatzen eta hornitzen ari gara.**
Irakurri gehiagoBidali kontsultaKalitate handiko materialaren propietateekin, Semicorex SiC Diffusion Boat-ek funtzionaltasun optimoa adierazten du parametro operatiboen espektro zabal batean: gogortasuna, erresilientzia eta erresistentzia termiko eta kimikoa, etab. Material hautatzeko erabakigarria da kutsadura-arriskuak murrizteko, obleak babesteko eta iraunarazteko. Erdieroaleen fabrikazio prozesuetan dauden baldintza zorrotzak. Semicorex-en kalitatea kostu-eraginkortasunarekin uztartzen duten errendimendu handiko SiC Diffusion Boat fabrikatzen eta hornitzen ari gara.**
Irakurri gehiagoBidali kontsulta