SIC itsasontzi bertikalak

SIC SIC SIC bertikalak Wafer garraiatzaileek diseinatu eta fabrikatu dituzte, labe bertikalaren prozesamendu bertikalaren egonkortasun termiko, mekaniko eta kimikorik handiena emateko. Garbitasun handiko eraikiaSilikonaren karburoa, uste dugu indar, iraunkortasun eta garbitasun orekagarritasunik onenak direla, Wafer prozesatze termiko oso aurreratuentzat, oxidazio, difusio, lpcvd eta labe bertikalen sistemetan estutzen direla.

Labea prozesatzeko ingurune bertikalak tenperatura altuan errepikatutako esposizioak jasan ditzakeen xafla-sistema behar dute, sarritan 1.200 ºC-tik gorakoa da eta kutsatu gabeko gaiak izan gabe. SIC itsasontzi bertikalak egoera hauetan beren sendotasunean nabarmentzen dira, silizio erraldoi edo CVD karburoaren propietate mekaniko eta termikoengatik. Hedapen termikoko koefiziente txikiek izaera termiko bizkorraren ondorioz gerra edo distortsio minimo bat bermatzen dute. Gainera, eroankortasun termiko altua, tokiko tenperatura homogeneotasun handiena eskaintzen du, ogitarteko guztietan, eta hori funtsezkoa da geruza lodiera, dopin profilak eta errendimendu elektrikoa; Bolumen handiko fabrikazioaren alderdi garrantzitsuak erdieroaleen industrian.

Kuartzialontzi tradizionalekin alderatuta, SIC itsasontzi bertikalak indar mekanikoko eta zerbitzu luzatuaren bizitza eskaintzen du. Quartz-ek denborarekin hauskorra eta desbideratzea izaten du, batez ere, labe kimiko oldarkorretan, ordezko kostu handiagoak eta ekoizpen eten potentzialak lortzeko. Aitzitik, Silicon Carbide-k bere osotasuna mantentzen du, hala nola, kloro, HCl edo amoniakoa bezalako gas korrosiboen esposizioa luzatu ondoren, hainbat difusio eta LPCVD prozesuetan ohikoak direnak. Salbuespeneko higaduraren eta oxidazioarekiko erresistentziak asko murrizten du partikulen sorrera, kutsadura eta akatsaren gainazalen gainazalak babesten laguntzen.

SIC itsasontzi bertikalek ere onura handia eskaintzen dute prozesamendu ultra-garbiaren arabera. Garbitasun handiko SIC materiala diligentzia zorrotzaren arabera prozesatzen da, gailu erdieroaleen ezaugarri operatiboak oztopatu ditzaketen metal kutsatzaileen identifikazioa murrizteko. SIC itsasontzien gainazal bertikalak ondo amaituta daude mikro-partikulen isurketarako aukera gutxitzen duten angelu angelu arruntekin. SIC gainazalak kimikoki inerteak dira eta ez dute prozesuko gaiekin erreakzionatzen eta, beraz, kutsadurarentzat gutxiago dira. Ildo horretan, SIC itsasontzi bertikalak oso egokiak dira lerroaren lehen muturrerako (Feol) eta lerroaren amaiera (Beol) wafer prozesatzeko eragiketak egiteko.

SIC itsasontzi bertikalek ere diseinu malgutasuna eskaintzen dute. Itsasontzi bertikal bakoitza diseinu berariazkoa izan daiteke wafer diametro anitzetara (150 mm, 200 mm edo 300 mm-ko ogiak) eta zirrikituaren zenbakia eta tartea erabil daitezke prozesuen baldintzak betetzeko. Zehaztasunen mekanizazio eta dimentsioko kontrolak aukera ematen du obra bidezko lerrokatzea eta ubidearen laguntza, kargatu, prozesatu eta deskargatzerakoan mikro-marradurak edo estresa pitzadurak gutxitzeko. Gainera, tenperatura uniforme altuko eta / edo masa termiko gutxiago behar bada prozesu jakin baterako, geometria optimizatuak eta zirrikitu diseinuak sartu ahal izango dira SIC itsasontzi bertikalen konfigurazioetan, propietate mekanikorik sakrifikatu gabe.

Beste abantaila bat mantentzea eta eraginkortasun operatiboa da. Eraikuntza zurrunaSikoItsasontzi bertikalek ordezko denbora eta maiztasuna murrizten dituzte, eta horrela, jabetza gutxitu edo kostua gutxitzen da. SICren shock-erresistentzia termikoek berogailu eta hozte ziklo laburragoak ahalbidetzen dituzte ekoizpen lerroetan errendimendu handiagoa emateko. SIC itsasontzi bertikalak mantentzea edo garbitzea ere oso erraza da; Materialak ohiko garbiketa prozesu arruntak jasan ditzake, ez dira ohiko garbiketa prozesuak, esaterako, azidoekin eta tenperatura altuko labean.

Erretiroaren hobekuntza sofistikatuaren aro moderno honetan, prozesuan izandako kutsaduraren hobekuntza, kutsadura kontrolatzea eta egonkortasuna garrantzi handia dute, SIC itsasontzi bertikalak benetako abantaila teknologikoa eskaintzen du. Labearen aplikazio bertikalen erronka fisiko eta kimikoei aurre egiten diete eta prozesuaren optimizazio orokorrean laguntzen dute obraren osotasuna, emaitza koherenteak eta ekipoen bizitza luzeagoa eskainiz.