Zeramikazko Mandril Elektrostatikoak

Semicorex zeramikazko chucks elektrostatikoak errendimendu handiko aluminiozko eta aluminio nitrurozko zeramikaz egindako doitasun elektrostatikozko adsortzio osagaiak dira, adsortzio elektrostatikoen printzipioa erabiltzen dutenak obleak estutu eta konpontzeko. Erdieroaleen fabrikazio eremuetan oso erabilia da. Semicorex-ek teknologia aurreratua, kalitate handiko materialak eta produktu errentagarriak ditu. Espero dugu zure hornikuntzarako bazkide fidagarria izatea Txinan.

Bidali kontsulta

Produktuaren Deskribapena

Zeramikazko mandril elektrostatikoakelektrodoen eta obleen artean sortutako eremu elektrostatikoa erabiltzen duten doitasun-osagaiak dira, obleak estutu eta finkatzeko. Erdieroaleak, pantaila lauak eta optika bezalako eremuetan asko aplikatzen dira, eta goi-mailako ekipoen oinarrizko osagaiak dira, hala nola PVD gailuak, grabatzeko makinak eta ioi-inplantagailuak.

Chuck mekaniko tradizionalekin eta hutseko chuckekin alderatuta, zeramikazko chuck elektrostatikoek abantaila ugari dituzte erdieroaleen fabrikazioan. Zeramikazko mandril elektrostatiko honek elektrizitate estatikoa erabiltzen du obleak gainazalean berdindu eta uniformeki eusteko. Adsortzio indar uniforme honek xurgatutako objektua nahiko laua mantendu dezake, saihestuzostiaChuck mekaniko tradizionalek eragin dezaketen deformazioa edo deformazioa edohutseko zorroak, eta obleak doitasun handiko erdieroale prozesuetarako egokia den prozesatzeko zehaztasuna mantentzen duela ziurtatzea.

Zeramikazko mandril elektrostatiko batzuek berokuntza-funtzio integratuak dituzte, obleen tenperatura zehatz-mehatz kontrolatu dezaketen gasa atzera botatzeko edo barruko berogailu-elektrodoen bidez, prozesu desberdinetako tenperatura-eskakizun zorrotzetara egokitzen eta prozesatzeko egonkortasuna hobetzen dute.

Chucks mekanikoek ez bezala, zeramikazko chuck elektrostatikoak zati mekaniko mugigarriak murrizten dituzte, partikula kutsatzaileen eragina murrizten dute obleen kalitatean, obleen gainazalaren garbitasuna eraginkortasunez babesten dute eta produktuaren etekina hobetzen dute.

Zeramikazko mandril elektrostatikoak bateragarritasun zabala eskaintzen dute. Tamaina eta material ezberdinetako obleak har ditzakete, besteak beste, silizioa, galio artsenuroa eta silizio karburoa, erdieroaleen fabrikazio beharrak asetzeko.

Egonkortasunez lan egin dezakete huts-ingurune handietan, hala nola ioien inplantazioa eta CVD, hutseko ingurunean obleak xurgatu ezin dituzten hutsezko zorro tradizionalen muga gaindituz, eta ezin hobeto betez ioien ezarpenaren, lurrun-deposizio kimikoaren (CVD) eta erdieroaleen fabrikazioko beste prozesu batzuen eskakizunak.